中古 KLA / TENCOR AWUS 3110 #9236712 を販売中

KLA/TENCOR AWUS 3110マスク&ウェーハ検査装置は、歩留まりを改善し、コスト効率を向上させ、重要なプロセス制御アプリケーションの迅速かつ正確な欠陥解析を可能にするために設計された、信頼性の高い強力な全面検査システムです。このユニットは、高度で高解像度の光学系、光学パラメータの層ベースのパターン測定、および高度な信号処理を使用して、高い検査感度と改善されたデータ分析機能を提供します。これにより、欠陥部位の高精度な画像を取得し、即時欠陥識別のためのコントラストを高め、デバイス層の透明な画像を取得してパターン認識を向上させます。KLA AWUS 3110マスク&ウェーハ検査機は、ツール全体の簡単なナビゲーションを可能にする直感的なユーザーインターフェースを備えており、フルフィールド、マルチレベル、顕微鏡検査など、さまざまな種類のウェーハやマスクを検査するための幅広いオプションを備えています。正確で再現性の高いオートフォーカス機能を備えており、プロセスの最適化に使用できるリアルタイムプロファイルを使用して高速フォーカス測定を可能にします。これには、誤った欠陥呼び出しを拒否する高度な欠陥検出アルゴリズムが含まれており、検査の誤り失敗と生産スクラップを削減します。この資産の広範な測定機能は、歩留まりの低下につながる可能性のある微妙な欠陥を検出するのに役立ちます。強化された画像解析アルゴリズムと自動欠陥分類モデルは、問題解決とプロセス制御のための迅速かつ決定的なデータ分析を提供します。この装置には特許取得済みのレーザースキャン可能なオーバーレイ層があり、マスク検査とウェーハ検査の両方に使用され、プロセス全体のデータ精度と一貫性を保証します。強力で正確な性能に加えて、TENCOR AWUS 3110マスク&ウェーハ検査システムは、高速スループットと高い安定性で最大の信頼性を得るように設計されています。このユニットは、ユーザーがサイクルタイムを短縮し、歩留まりを改善し、市場投入までの時間を短縮するのに役立ちます。様々なウェハ、異物、欠陥の種類に対応可能で、高度な訓練を受けた経験豊富なテクニカルサポートスタッフがサポートします。