中古 KLA / TENCOR ATL-100 #293651145 を販売中

KLA/TENCOR ATL-100は、半導体デバイスの性能に影響を与える可能性のある欠陥を迅速かつ正確に検出するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高度なデュアルビューイメージング技術を使用して、マスクおよびウェーハ表面の高解像度画像を生成します。KLA ATL-100検査ユニットは、TENCOR ATL-100検査プラットフォーム、Scanning Spot Microscope （SSM）センサー、およびpcom™自動欠陥レビューソフトウェアを含む完全に統合された自動マシンです。ATL-100は、KLAの有名な欠陥分類の専門知識と副波長光学およびMotion Vision AEアルゴリズムを組み合わせることにより、優れた欠陥検出、分類、レビュー機能を提供します。KLA/TENCOR ATL-100検査プラットフォームは、B-Si、ポリシリコン、FIBフィラメントなどのさまざまなマスク、およびリソグラフィ、スパッタリング、CMPなどのさまざまなウェハ技術を検査できます。KLA ATL-100は、高度な光学技術と高解像度イメージングセンサーを組み合わせることで、幅広い欠陥特性をカバーする全分野、グレインノイズベースの欠陥検出を提供します。Scanning Spot Microscope （SSM）センサは、光波長の分解能を使用してフォトマスク、ウェーハ、配置ターゲットの欠陥を検出する統合された光学検査ソリューションです。SSMセンサは、高速で高出力のパルスレーザーを特徴とする光源とともに、1.5KHzで横断できる視野を採用しています。SSMセンサーは、自動欠陥レビューソフトウェアを使用して表示および分析できる欠陥画像pcom™キャプチャします。pcom™自動欠陥レビューソフトウェアは、リアルタイムの欠陥管理、欠陥分類、後処理ソリューションで構成される完全自動欠陥レビューツールです。この欠陥レビューソフトウェアは、独自の自己学習アルゴリズムを使用して、欠陥の状態を確実かつ正確に検出、分類、報告し、包括的な欠陥画像と全波長のサブウェーブ欠陥検出機能をユーザーに提供します。さらに、pcom™資産の自動レビュー機能により、検査品質とコスト効率が強化されます。高度な光学およびイメージング技術の統合モデル、洗練された欠陥レビューソフトウェア、直感的なユーザーインターフェースを備えたTENCOR ATL-100マスクおよびウェーハ検査装置は、最先端のソリューションです。このシステムは、最高の検査精度、自動欠陥レビュー機能、および広範なスループットを活用して、総所有コストを最小限に抑えながら、最高の歩留まりと精度を提供します。