中古 KLA / TENCOR Archer #9386838 を販売中

KLA/TENCOR Archerは、半導体製造でウェーハ表面の欠陥を検出するために使用されるマスクおよびウェーハ検査装置です。システムは、イメージセンサー、光源、光学部品、および高度なソフトウェアアルゴリズムで構成されています。複数波長の照明と位相シフトを使用して各ウェーハをスキャンし、表面欠陥を示す明暗領域のパターンを特定します。ユニット内のイメージセンサーは、さまざまな角度や深さの高解像度画像のパターンをキャプチャすることができます。これは、ブライトフィールド、ダークフィールド、斜め、偏光照明を使用することで可能です。収集されたデータは、マシンの強力なソフトウェアアルゴリズムによって処理され、組み合わされて詳細な3Dサーフェスイメージが作成されます。ツール内の光源は、紫外線と赤外線の高度に調整可能で最適な光源です。このアセットは、ダイツオーバーレイやフォーカスバリエーションモードなどの機能も使用します。ダイツーダイオーバーレイにより、モデルはさまざまなスキャンとフォーカスバリエーションモードを比較することができ、より正確で詳細な測定が可能です。レンズ、ミラー、フィルターなどの機器の光学部品は、キャプチャされた画像の品質を向上させるために使用されます。レンズは、フィルターを使用して画像からの不要なノイズを排除しながら、さまざまな方向に光を屈折させることにより、詳細な画像を正確にキャプチャするのに役立ちます。ミラーはまたイメージセンサーを傾け、別のイメージの角度を提供するのを助けます。KLA Archerは、5nmのサイズの欠陥を検出できる高度なマスクおよびウェーハ検査システムです。このユニットは、最新の技術と高度なアルゴリズムを使用して、ウェーハの高精度で詳細な画像をキャプチャします。それは生産の効率を改善し、再作業および取り替えの費用を減らし、そして良質プロダクトを保障するように設計されていました。