中古 KLA / TENCOR Archer XT+ #9256573 を販売中
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KLA/TENCOR Archer XT+は、半導体業界で最も要求の厳しいプロセス制御アプリケーション向けに設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムでは、高度な自動計測技術と高度なソフトウェアを使用して、生産と研究の両方のウェーハの迅速でローカライズされた測定を提供します。KLA Archer XT+ユニットは、独自のデュアルビームイメージングマシンを使用して、ゲート層、ポリシリコンパターン、拡散線などの半導体機能の高解像度画像を提供します。このツールは、視覚的な概要からナノメートルスケールの特徴特性評価まで、複数のレベルの解像度で自動計測機能を提供します。これにより、線幅、オーバーレイアライメント、クリティカル寸法（CD）、プロセスバリエーションなどのフィーチャーパラメータを正確に決定できます。TENCOR Archer XT+ユーザーは、オプションの統合された二次電子イメージングアセット（SEI）を使用して、ウェーハの表面特性を調べることもできます。Archer XT+モデルは、デジタルイメージ相関（DIC）およびマスクレスイメージングのためのオプションのシステムを備えたインラインイメージング機能も提供します。これにより、マスクのパターンを迅速に分析し、欠陥検査のための詳細な画像を生成することができます。AreaGap Systemを追加すると、KLA/TENCOR Archer XT+を設定して、3次元（3D）パターンのマッピングと特性評価を行うことができます。このユニットには、データ分析、欠陥検出、およびプロセス制御のための高度なソフトウェアアプリケーションも装備されています。生産性向上ツールを内蔵することで、欠陥カテゴリ、フォトマスク分散、およびプロセス制御のためのその他の主要な指標に関する包括的なレポートを作成できます。これらのアプリケーションは、KLA Archer XT+の高解像度計測機能と組み合わせることで、高精度、高速な納期、およびプロセス制御の向上をユーザーに提供します。
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