中古 KLA / TENCOR Archer XT #9241251 を販売中

KLA/TENCOR Archer XTは、半導体ICの高速かつ高精度な特性評価を実現するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。KLA Archer XTは、高度な光学技術とイメージング技術を活用して、非常に小さなスケールでも、ウェーハ表面の特徴と欠陥を高解像度で識別できます。イメージング用に、TENCOR Archer XTには、デュアル10-MPixelカメラとハイエンド光源が装備されています。カメラはウェーハ表面の画像を撮影し、他の信号と組み合わせて、欠陥の正確かつ迅速な特性評価を可能にする詳細な画像を生成します。光源は、デバイスの徹底的な検査に必要な最適なコントラストと明るさを提供します。Archer XTには、ウェーハ表面の最小欠陥でも正確に検出できるパターン認識システムも搭載されています。高度なアルゴリズムとアダプティブオプティクスを組み合わせることで、見えにくい最小の欠陥を検出することができます。KLA/TENCOR Archer XTは操作が簡単なユーザーフレンドリーなGUIを備えています。また、欠陥の特性評価に役立つさまざまな強力な分析ツールを提供しています。これには、複数の画像を分析して参照画像と比較し、個々の画像をオーバーレイして潜在的な欠陥を迅速に特定し、さまざまな形式でデータをエクスポートおよび分析する機能が含まれます。KLA Archer XTは、マスクおよびウェハ検査機能に加えて、オーバーレイ精度、ライン幅、重要な設計寸法などのプロセスパラメータを測定することができ、設計に関する詳細な情報をユーザーに提供します。このマシンは、状況固有のモードで欠陥を測定することもでき、ユーザーは問題をすばやく特定してさらに調査することができます。全体として、TENCOR Archer XTは強力でユーザーフレンドリーなマスクとウェーハ検査ツールであり、さまざまなフォーマットやサーフェスの欠陥を迅速に特定して分離できます。高度な光学技術、イメージング技術、高度な解析ツールを搭載し、ICの特性評価や設計検証に最適です。