中古 KLA / TENCOR Archer XT+ #293604014 を販売中

ID: 293604014
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR Archer XT+は、自動化されたスループット最適化により、広域欠陥検出用のマスクおよびウェハ検査装置です。製品およびエッチング後の感度試験を実行し、生産歩留まりの向上と最終ライン製造テストを可能にするように設計されています。検査システムは、特殊な光学/半導体欠陥検出ユニットで構成されています。5軸の多次元スキャンヘッドを備えており、高速フレームレートで高解像度のイメージング機能を実現します。このマシンにはMultiSense2イコライゼーション技術も含まれており、視野全体の不均一性を低減するのに役立ちます。このツールには、高度な光学サブシステムが装備されています。粒子や傷などの微細な欠陥を0。040ミクロンの分解能で検出することができ、粒子欠陥の正確な特定に役立ちます。この資産は、真の欠陥を早期かつ正確に識別するための高度なノイズ耐性を提供します。さらに、このモデルは、高度なMultiSense2イコライゼーション技術を通じて、高度な誤った欠陥防止機能も提供しています。KLA Archer XT+は、独自のEqualization Technologyによって支援された多次元スキャンヘッドを使用して、最も複雑なマスクおよびウェーハ構造を迅速に処理するように設計されています。狭いパターンなどの難易度の高い基板でも、広い領域を素早く正確に検査することができます。TENCOR Archer XT+は、装置の高速、高分解能、自動化されたスループット最適化により、最高のオンプロダクトおよびポストエッチング欠陥検出機能を提供します。このシステムは、幅広い計測および欠陥特性評価ツールと互換性があり、自動化されたスループットトラッキングと最適化をサポートします。さらに、KLAは、効率を高めるための統合ソフトウェアパッケージのスイートを提供しています。これには、高度なプロセス制御とパターンマッチングアルゴリズムが含まれ、検査ユニットの完全な制御と最適化を提供します。結論として、Archer XT+は強力で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査機です。MultiSense2 Equalization Technologyと共に、高度な光学サブシステム機能を提供し、欠陥検出の究極の感度と精度を提供します。このツールはまた、高度なソフトウェア制御とオートメーション機能をサポートして、最大のスループットを確保します。
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