中古 KLA / TENCOR Archer AIM #9293250 を販売中

KLA / TENCOR Archer AIM
ID: 9293250
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR Archer AIMは、歩留まり管理、欠陥処理、デバイスの認定に高いレベルのパフォーマンスを提供する自動インラインマスクおよびウェーハ検査装置です。4kピクセル検出器アレイを備えた検査ヘッドを備えており、小さな欠陥を検出するための高解像度検査を提供します。光学ユニットは、強力な画像処理と欠陥検出アルゴリズムと組み合わせて、最高の欠陥検出精度を提供します。このマシンには、ユーザーが特定のアプリケーションに合わせてツールをカスタマイズし、検出感度を向上させる独自の自動最適化プロセスが含まれています。さらに、この資産は自動欠陥レビューと手動欠陥レビューの両方をサポートし、包括的かつ包括的なソリューションを提供します。このモデルには欠陥レビューステーションも装備されており、ユーザーは欠陥を迅速かつ簡単に識別および分類することができます。無料の高度なソフトウェアパッケージはバーチャルレビューを提供し、ユーザーは元のデバイスデータを検査プロセスの結果と比較することができます。このソフトウェアは欠陥分類ライブラリも提供しており、ユーザーは特定のプロセスに適したカスタム欠陥リストを開発して保存することができます。この装置は、さまざまな高度な検査および故障検出技術を統合することにより、迅速かつ正確な欠陥識別を保証します。このシステムは、高度な自動測定機能を備えた走査型電子顕微鏡(SEM)ユニットを使用しており、迅速かつ正確な欠陥サイズと欠陥位置の識別を可能にします。また、高解像度画像のための充電結合デバイス(CCD)技術に依存するCD-SEMマシンも含まれています。CD-SEMツールは、欠陥分類アプリケーション用の3D高解像度ステレオ顕微鏡と統合されています。さらに、この資産は、欠陥分類のためのさまざまな高度な計測システムと統合することができます。このモデルには、安全なパラメータ、認証メカニズム、包括的なシステムログからなる機器全体のセキュリティネットワークが含まれており、品質要件を最大限に保護します。このユニットはまた、ユーザーがリモートでレビューおよび分析ツールにアクセスできるようにし、ユーザーに問題を迅速に議論してレビューする機能を提供します。最後に、このマシンはプロセスの効率を向上させ、スループットを向上させ、誤った拒否を減らすように設計されています。このツールは、ユーザーに高感度で正確な検査結果と検出時間の短縮を提供します。また、プロセスエンジニアやオペレータに直接詳細な欠陥レポートの要約を作成し、レビュープロセスを簡素化します。これらのすべての機能と利点は、KLA Archer AIMを理想的なマスクおよびウェーハ検査モデルにします。
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