中古 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9237501 を販売中

KLA/TENCOR Archer AIM+は、高度なプロセス制御、歩留まり改善、エラー低減を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、欠陥を検出するための前例のない解像度、感度、速度を提供します。高解像度カメラ、イメージプロセッサ、独自の画像解析アルゴリズムを備えた高度な光学設計で構成されています。この高度な技術の組み合わせにより、25ナノメートルのサイズの欠陥を検出することができます。このツールは、検出されない可能性のある重要なパターン欠陥を明らかにすることができ、最も重要なレイヤーを検査して精度と精度を確認するのに理想的です。このアセットは、オペレータの相互作用を最小限に抑え、検査プロセスを簡素化するように設計されています。GUI （Graphical User Interface）は使いやすく、すべての設定やコンポーネントに直感的にアクセスできるため、迅速かつ正確なセットアップとリアルタイム調整が可能です。モデルは完全に自動化されており、必要に応じて無人で実行するように設定することができます。この装置は、マスクやウェーハの欠陥だけでなく、臨界寸法（CD）やパターンの線幅などの重要なパラメータの変化も検出できます。パフォーマンスを変化させる可能性のあるバリエーションをフラグ付けすることで、故障のない動作を保証します。また、包括的なデータ収集および分析ソフトウェアを提供し、ユーザーはデータの保存と取得、分析の実行、プロセスの監視を可能にします。ユニットのレポートモジュールは、ユーザー定義の基準と自動的に結果を比較し、改善の領域を簡単に特定できます。このマシンのユニークな機能の組み合わせは、最高品質のマスクとウェーハを確保するのに役立ちます。また、従来の検査システムと比較して、より高い歩留まりとパフォーマンスを提供しながら、時間とリソースを節約するのに役立ちます。