中古 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9236390 を販売中

KLA/TENCOR Archer AIM+は、高度な集積回路の生産のために設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、組成、パターン、欠陥検出の高解像度測定のために、ファブおよび計測研究所にプロセスに不可欠な性能フィードバックを提供します。このユニットには、統合されたソフトウェア、高度な欠陥検出アルゴリズム、およびオンボードプロセス制御機能を備えた2K高解像度イメージングマシンが装備されています。この高解像度イメージングは、サブミクロンレベルまでの欠陥を検出、検出、測定することができます。統合ソフトウェアスイートには、パターン化されたフィーチャー、光学歪み、薄い層の厚さ、ライン分解能、および表面反射性の正確な測定が含まれています。KLA Archer AIM+ツールは、構造のジオメトリの微妙な変化を検出することを可能にする3D許容検査技術で構築されています。このアセットはまた、粒子、ツールマーク、ブリッジ、オーバーレイのずれなど、さまざまな重要な欠陥を検出および分類することができる高度な欠陥検出アルゴリズムも提供しています。このモデルには、製造チームがリアルタイムでデータを分析、修正、レビューできる高度なソフトウェアツールと、欠陥率を低減する是正措置の実装を可能にするインラインプロセス制御機能が装備されています。この機器は堅牢なユーザー中心のプラットフォームで設計されており、ウェーハ検査プロセスに対するユーザー定義の設定をカスタマイズできます。これにより、データ収集タスクごとにツールのセットアップに要する時間を短縮することで、迅速かつ効率的な分析が可能になります。システムは完全に柔軟で構成可能で、さまざまな種類の構造、プロセスレシピ、検査環境に対応できます。最後に、ユニットを簡単にアップグレードして強化することで、パフォーマンスを最大化し、より自動化された効率的なウェーファー検査プロセスへのシフトを提供できます。アップグレード可能な機能により、本番環境の拡張性と歩留まり監視の向上を実現します。使いやすいユーザーインターフェイスは、包括的な測定セットを提供し、ユーザーはボタンをクリックして公差をすばやく調整し、プロトコルを変更することができます。