中古 KLA / TENCOR Archer AIM #9231862 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9231862
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Overlay inspection system, 12"
With ASYST IsoPort 9700-9129-01 Rev K load port
Dual load ports EFEM
With ASYST IsoPort
Signal light tower
BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot
Robot controller
Handler
I/O Interface board
Motion controller
Optic
Z-Stage
Pneumatic box (Air and vacuum module)
Computer
Keyboard and mouse
Operator console
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Printer
EMO
Shelf
Floatation damaged
Missing parts:
SBC Controller
Floatation controller
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase
2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIMは、最大7 μ mピクセルの解像度で基板の高解像度画像をキャプチャし、欠陥を解析する自動マスクおよびウェハ検査システムです。フラッシュメモリ、液晶、高機能サイズなどの高付加価値基板やマスク基板の高速かつ正確な検査が可能です。高解像度画像は、パターンを比較して製造とアセンブリの欠陥を識別する一連のソフトウェアモジュールによって分析および評価されます。ウェーハ上の欠陥解析、臨界寸法(CD)測定、電気試験機能などのツールが含まれます。また、フィルム割れや熱応力解析などの非破壊的な物理的欠陥解析も提供しています。システムは、アプリケーション固有のジョブ選択と操作のための使いやすいフロントエンドソフトウェアを使用して、ユーザーのための検査ジョブを作成できます。パワフルでカスタム設計されたユーザーインターフェイスを備えており、歩留まりを最適化するためのマスクおよびウェーハ検査ジョブを実行します。このシステムは、さまざまなベンダーからウェーハやマスクブランクを処理するためのさまざまなロボットと接続します。統合欠陥レビューソリューションは、検査ツールによって収集された画像の詳細な分析作業を行うための安全なレビュー環境を提供します。クラス最高の画像忠実度を備えており、ウェーハ全体またはマスクブランクの迅速な欠陥比較を可能にします。レビューツールには、欠陥クラスタを見つけるのに役立つ洗練されたパターン認識ツールも含まれています。全体として、KLA Archer AIMは、マスクおよびウェーハ検査に堅牢で信頼性の高いソリューションを提供します。高度なソフトウェアモジュールと高解像度イメージング機能を組み合わせることで、高度な物理的欠陥解析、CD測定、電気試験に最適です。また、統合欠陥レビューソリューションにより、製造およびアセンブリの欠陥を迅速かつ正確に特定できます。
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