中古 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9226067 を販売中

KLA/TENCOR Archer AIM+は、レチクル、ディスプレイ/プロジェクションマスク、フォトマスク、ウェーハの費用対効果の高い、正確で自動化された検査用に設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。さまざまなマスク、ウェーハ、その他の基板材料のインラインおよびオフライン検査をカバーする包括的な光学検査機能を提供します。KLA Archer AIM+システムには、独自のLEDおよびCCDベースのデジタルラインスキャンが装備されています。この設計により、このユニットはオフラインとインラインの両方の構成で自動イメージングと分析を行うことができます。この機械に組み込まれたイメージングおよび検出アルゴリズムは、不透明マスクと透明マスクの両方の欠陥検出および分類、接触穴の表面解析および面積検査、およびデバイスパラメータの測定およびアライメントなど、さまざまな分析機能をユーザーに提供します。このツールはまた、広い面積と密接な接触穴を含む広範囲のレチクルの自動エッジ測定を可能にします。この機能により、迅速で信頼性の高い校正と測定プロセスが可能になり、通常必要な時間のほんの一部の結果が得られます。TENCOR Archer AIM+は欠陥の分類のための多数の選択を提供し、ユーザーに個々の必要性および特定の適用によって異なった選択を提供します。これには「Learn-it」メソッドが含まれ、高解像度顕微鏡画像に基づいて欠陥を真の欠陥とプロセス誘発効果に分類することができます。この方法は、非常に複雑な構造を持つ高度な特殊フォトマスクに特に役立ちます。また、最大100nmの高解像度でマスク検査が可能です。この解像度は、画像の特徴とフォームの特徴を洞察的に分析し、最小の欠陥を検出することができます。このモデルは、リアルタイムのプロセス制御とレビューのためのウェハレベル比較プロットの広い範囲を作成することもできます。Archer AIIM+には、オートフォーカス最適化された設定や、欠陥の識別を容易にするための柔軟な画像可視化など、さまざまな追加機能が搭載されています。また、ユーザーは現在のニーズや入力設定に応じてソフトウェア設定を構成することができます。さらに、この機器は、単一のイメージマスクからマルチサイトジョブ、複数のプロセス段階まで、さまざまな構成でも利用できます。Archer AIM+は、ユーザーが必要に応じてユニットを上下に簡単にスケーリングできるモジュラーシステムです。また、140-400ワットからの電源オプションの範囲で利用可能であり、PCとMacの両方のプラットフォームと互換性があります。また、OCR認証ネットワーキングプロトコルやCADに優しいデータ取得と転送をサポートすることも可能です。全体として、KLA/TENCOR Archer AIM+ツールは、正確で効率的なイメージングと分析のための包括的なツールを備えた強力なマスクおよびウェーハ検査アセットです。それは生産および研究の適用のための理想的な選択です。