中古 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9213343 を販売中

KLA/TENCOR Archer AIM+は、自動光学検査（AOI）と自動テストパターン（ATP）の両方をマスクおよびウェーハ製造業界に提供する先進的な検査装置です。KLAの特許取得済みの3DセルベースのビジョンインテリジェンスプロセスとTENCORの革新的なメカトロニクスおよびマシンビジョン技術を組み合わせ、包括的で自動化された検査ソリューションを提供します。KLA Archer AIM+システムは、詳細な3Dイメージングを提供し、今日の高度なフォトマスク技術に見られる2Dサーフェスと複雑な3Dコンポーネントジオメトリの両方の欠陥検出を可能にします。このユニットは、さまざまな高度なアルゴリズムを使用して、シングル、デュアル、チルトリング、高アスペクト比およびラインエッジ粗度（LER）、マスキングエリアスキャンなど、あらゆる種類のフォトマスクパターンとコンポーネント形状の検査を実行します。TENCOR Archer AIM+は、特許取得済みの3次元AOIプロセスと自動化されたTrue-Time-Delay （TTD） ATPを使用して、正確な結果を迅速に再現します。自動化されたTTDプロセスは、試験データと測定データの間の時間ギャップを補償し、一貫した正確な欠陥検出結果をもたらします。このマシンはモジュラー設計を備えており、既存の生産フローに簡単に統合できます。このツールは直感的なユーザーインターフェイスによって制御され、数回クリックするだけで洗練されたプログラミングを可能にします。この制御ソフトウェアは、グラフィカルメニュー、ドラッグアンドドロップ操作、およびコンテキストセンシティブなヘルプを採用しているため、効率的な操作が可能です。Archer AIM+アセットは、個々のチップのレベルで欠陥を検出、分析、修正することもでき、より高いレベルの生産自動化を可能にし、より高い歩留まりをもたらします。また、品質監視のための基本的な統計プロセス制御（SPC）や、プロセス能力と再現性を高めるための高度なSPCも備えています。効率的なレシピ処理とデータ管理により、機器は再工程を必要とせずに将来のプロセス要件に容易に適応できます。KLA/TENCOR Archer AIM+システムは、マスクとウェーハの製造に最適なソリューションで、ユーザーフレンドリーなパッケージで比類のない精度と効率を提供します。モジュラー設計と高度なアルゴリズムにより、マスクとウェーハの品質管理と検査要件に関する包括的なソリューションを提供します。