中古 KLA / TENCOR Archer AIM #9173737 を販売中

KLA/TENCOR Archer AIMは、ファウンドリと顧客の両方の製造プロセスを強化するために設計された強力なマスクおよびウェーハ検査装置です。システムは、高出力レーザー、高度な光学系、洗練されたイメージングユニットで構成されています。この組み合わせにより、欠陥を迅速かつ正確に検出することができ、半導体マスクやウェハ検査、LCD/CNTマスク検査、MEMSデバイス検査など、さまざまな用途に使用できます。高出力レーザーは、ツールの最初のコンポーネントであり、強烈な光線を生成するために使用されます。ビームは細かく調整されているため、ウエハやマスクを向けると製品のさまざまな特徴を照らします。このビームは、コーティングの欠落、エッジ、表面の特徴などの小さな欠陥を検出することができます。洗練された光学系により、KLA Archer AIMはさまざまな製品を詳細に検査できます。この光学系はレーザービームを正確に分極し分散させ、マスクとウェーハの両方で壊れやすいシングルエッチング構造を識別することができます。また、製品の継ぎ目に不適切な登録および/または不十分な接着を見つけることができ、検出機能が強化されています。アセットのイメージングモデルはCCDラインカメラで構成されており、ラインスキャンごとに製品の画像をキャプチャします。キャプチャされた画像は、その高度なアルゴリズムで欠陥を識別する欠陥管理機器を介して渡されます。検出された欠陥は、製品が生産ラインに入る前にフラグを付けることができます。検査機能に加えて、TENCOR Archer AIMは、幅広い製品にインラインメトロロジーソリューションを提供しています。これらの計測測定は、検査中にモニター上で直接読み取ることができ、迅速かつ簡単な品質管理を可能にします。Archer AIMシステムを最大限に活用するために、ユーザーはさまざまなレポートやワークフロー管理ツールを利用できます。これは、結果が正確に追跡され、中央データベースで維持されるようにするのに役立ちます。結論として、KLA/TENCOR Archer AIMは、堅牢で信頼性が高く、正確なマスクおよびウェーハ検査ユニットです。欠陥を迅速かつ正確に検出し識別することができ、さまざまなアプリケーションに最適です。このマシンはまた、インラインメトロロジーソリューションやその他の機能を提供し、ユーザーが生産プロセスを合理化するのに役立ちます。