中古 KLA / TENCOR Archer AIM #9038074 を販売中

KLA/TENCOR Archer AIMは、高精度の自動欠陥検出と特性評価を可能にするマスクおよびウェハ検査装置です。優れた画像取得、驚くほど高速なスループット、強力なイメージングおよび分析ツールを提供します。KLA Archer AIMシステムは、従来のフォトマスク検査だけでなく、ダイダイ欠陥検査や3D欠陥認識などのお客様固有のアプリケーションにも対応できるように設計されています。高速ラインスキャンイメージングアーキテクチャを使用して、欠陥検出および欠陥特性評価用の高解像度画像を取得します。イメージングエンジンは、真の450mmウェーハカバレッジを提供する22nmのピクセルサイズを誇っています。TENCOR Archer AIMは、最大のウェーハでも高精度に処理できるため、非常に高い精度で欠陥を特定できます。このマシンには、正確で堅牢な自動欠陥検出と分類のための強力な最先端の画像認識ソフトウェアが装備されています。このソフトウェアは、優れたシングルストロークエッジ検出、パターン認識、および偽陽性の差別を提供します。また、設計レイアウトからアモルファスパターンまで、すべてを見直すことができるハイスループットウェーハ検査用の洗練された分析エンジンも組み込まれています。Archer AIMアセットは、高度なイメージングとオートメーションツールの卓越した組み合わせを提供し、従来の大量のマスク検査だけでなく、高度な顧客固有のアプリケーションにも最適です。これにより、通常構造と異常構造の両方の自動検査と特性評価により、プロセス開発を高速に追跡することができます。さらに、KLAの高度なソフトウェアツールは、包括的なデータベースへのアクセス、パターンのレビュー、ウェーハレイアウトの変更、自動化された機能とパターン認識、偽陽性の低減、バッチ処理など、完全なマスク検査性能と機能を提供します。また、高度な顕微鏡ツールとの統合により、より詳細な分析機能を提供します。全体として、KLA/TENCOR Archer AIM装置は強力で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査ソリューションであり、従来のマスク検査と高度な顧客固有のアプリケーションの両方に信頼性が高く、正確で信頼性の高い結果を提供します。