中古 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9383055 を販売中

KLA/TENCOR Archer AIM MPXは、フォトマスクおよびウェーハ上の重要機能と非重要機能の両方を自動的に生産準備検査できるマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムには、Optimode機能、特許取得済みの4-Dimensional （4D）レーザー散乱測定ワークフロー、および複数のパターン認識技術などの高度な技術が組み込まれており、すべての欠陥が確実に識別され、確実に測定されます。Optimode機能により、検査対象のマスクまたはウェーハ上のすべての機能が正確に識別および測定されます。それはレーザーの点サイズおよび要求されるスキャンの数を制御することによって働きます。レーザー散乱計は、金型形状と3D機能の複雑さを測定し、人間の相互作用を必要とせずに、平坦面と複雑面の両方で高コントラスト特性を測定できます。Optimode技術に加えて、KLA Archer AIM MPXには複数のパターン認識技術が搭載されており、正確な検査結果を保証します。これには、動的欠陥検出、自動しきい値の選択、および自動構成可能なフィーチャーテンプレートライブラリが含まれます。さらに、JPEG、 TIFF、 PDFなど様々な形式の検査レポートを最大500倍の倍率で提供します。TENCOR Archer AIM MPXマシンは、HVM （High Volume Manufacturing）などのさまざまな成長およびオーバーレイプロセスをサポートし、0。1ミクロンの解像度までの機能を正確に測定することができます。さらに、このアセットは完全に暗い環境で動作し、一貫した熱プロファイルを維持し、超高精度の測定を可能にします。さらに、Archer AIM MPXは、レビュー、スポット、比較、オーバーレイ、low-kなど、さまざまな検査モードも提供しています。レビューモードはマスクまたはウェーハの表示可能な表現を提供し、比較モードはマスクを並べて比較して不適合を評価します。オーバーレイモードは複数のマスクを整列させて迅速な検査を行いますが、Low-kモードはフィーチャーの高さとシンフィルムラインを測定することができます。全体として、KLA/TENCOR Archer AIM MPXは、機能の最適な組み合わせを提供する信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査モデルであり、迅速かつ正確な欠陥検出、潜在的な歩留まり損失の特定、および製造精度の向上を可能にします。強力な機能により、検査時間が短縮され、生産性が向上します。