中古 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9239066 を販売中

KLA/TENCOR Archer AIM MPXは、半導体製造プロセスにおける高度な計測および歩留まり管理用に設計されたマスクおよびウェハ検査システムです。イメージベースの技術を使用してウェーハ表面の重要なフィーチャー測定の品質を決定し、製造メーカはより高性能で信頼性の高いウェーハデバイスをより迅速かつ高精度に作成できます。KLA Archer AIM MPXの中核には独自の多次元可視化技術（MDVT）があり、従来のイメージングシステムでは見られない最小の欠陥を検出して特定することができます。TENCOR Archer AIM MPXは、ハイエンドの画像ベクタープロセッサ、高度な照明システム、および特許取得済みの光学部品を組み合わせることで、1秒間に最大46枚の画像を高解像度でキャプチャできます。複数の独立したイメージングチャネルを使用して、1つのウェーハまたは複数のウェーハで同時に迅速な検査とスキャンを実行できます。この並列処理により、Archer AIM MPXは、画像にアーティファクトを導入することなく、ウェーハ表面全体のフィーチャーを数秒以内に測定および検査できます。さらに、セルフドッキング設計により、簡単かつ迅速にウェーハの積み下ろしを行うことができ、検査プロセスを迅速に最適化することができます。KLA/TENCOR Archer AIM MPXは、最大50nmまでの特徴を分析し、1milの位置精度で欠陥を検出する能力を備え、最高レベルの精度と精度を満たすように設計されています。さらに、自動欠陥分類と洗練された偽陽性検出機能を提供し、実際の欠陥を特定することができますが、偽陽性を減らすことができます。さらに、KLA Archer AIM MPXに付属するKLAソフトウェアスイートは、強力な分析およびデータビジュアライゼーションツールを提供し、プロセスの最適化と歩留まり分析の自動化のためのデータ分析を強化します。その結果、TENCOR Archer AIM MPXは迅速なレチクルおよびフォトマスク検査とウェハレベルの測定を可能にし、生産歩留まりと製造コストの削減に関するこれまでにない洞察を提供します。