中古 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9016583 を販売中

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ID: 9016583
ウェーハサイズ: 12"
Advanced optical overlay metrology system, 12" Install Type: Stand-Alone Brooks Pre-Aligner Mini-Environment w/HEPA Filter MPX Focus/Exposure Option (PN: 0047028-000) 300mm Reflective Host Chuck (PN: 0022143-002) Coherence Probe Interface Microscope Measures BIB & AIM Grating Targets Y2K Ready Automatic Arrayed Target Measurement SW Cassette Interface: (2) Asyst IsoPort 300mm Load-ports PN: 9700-9129-01 rev J Robot Handler: Brooks 3-Axis, Single Arm, Single Blade Software: Win NT OS Archer AIM Starter Kit w/ RDM Server Upgrade User Interface: Monitor: Viewsonic VG181 LCD 19” 3.5” (1.44MB) Floppy Drive Mitsubishi P91D Thermal Printer Yamaha CD-R/W Drive SSD Back-up Drive (DAT) Keyboard/Mouse/Trackball Currently crated and stored in a warehouse.
KLA/TENCOR Archer AIM MPXは、マイクロエレクトロニクスメーカーのニーズを満たすように設計された最先端のマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、マスクとウェーハの両方のさまざまな欠陥を検出および分析するための高解像度イメージングを提供することができます。KLA Archer AIM MPXは、正確な欠陥画像の歩留まり最適化と配信の高度を確保するように設計されています。コンパクトな設計と高速イメージングアーキテクチャを組み合わせ、検査スループットを向上させます。ユニットの中心には、フルカラーのHRI (High Resolution Imager)と高度な光学系があり、高解像度の画像と高速な解析を可能にします。TENCOR Archer AIM MPXは、粒子欠陥を検出して分析するだけでなく、ローカル電圧変化、ブリッジ液滴、サポートされていない機能などの製造欠陥を検出することができます。また、マスクまたはウェーハの高電圧領域でズームインすることができ、潜在的に壊滅的な欠陥を検出することができます。このマシンは、優れたコントラスト感度を提供し、欠陥検出と解析を強化します。Archer AIM MPXには、ウェーハ検査時に精密で再現可能な温度を維持し、欠陥検出性能を向上させる熱制御および安定性ツール(T-C&S)も含まれています。ロットからロットへの製品バリエーションを最小限に抑え、低コントラスト・高感度タイプの検出精度を向上させます。KLA/TENCOR Archer AIM MPXは、ユーザーが選択可能なさまざまなイメージングモードを提供し、汎用性が高く、ユーザーが特定のニーズに合わせてモデルを調整できるようにします。画像モードの例としては、Low Contour Scan、 Low Contrast SLF、 High Resolution SLF、 Low Contrast Edge Enhancedなどがあります。KLA Archer AIM MPXには、自動化された明るさとコントラスト選択のためのソフトウェアベースのAutoSensitizationも含まれています。これにより、ユーザーの設定プロセスが簡素化され、ユーザーが機器とやり取りする回数が削減されます。また、ASCII、 BMP、 TIFF、 PDF、 JPEGなどのデータエクスポートフォーマットを迅速かつ簡単に作成できます。ハイエンドシステムとして、TENCOR Archer AIM MPXは欠陥画像を迅速かつ正確に生成することができ、製造メーカーは歩留まりの最適化、コスト削減、製品品質の向上を可能にします。このユニットは、高速イメージングと信頼性の高い欠陥検出のための機能を提供し、多様な生産環境に最適です。
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