中古 KLA / TENCOR Archer A500 AIM #293592354 を販売中

KLA/TENCOR Archer A500 AIMは、高度な集積回路ウェーハとマスクの自動検査用に設計されたマルチスペクトルイメージング装置です。この自動検査システムは、マスクまたはウェハの前後の高解像度画像をキャプチャする3色の多周波数CCDカメラを使用しています。高度な画像処理アルゴリズムと全線量X線検査を組み合わせ、汚染、粒子欠陥、欠損などのさまざまな欠陥を特定します。Archer A500は、19インチのタッチスクリーンインターフェイスを備えた自動欠陥レビューユニットを備えています。900x900ピクセルの画像キャプチャ機能を備えており、粒子、高密度領域の粒子、パターン欠陥を検出するときのマシンのパフォーマンスを最適化します。高速モーションプラットフォームは、わずか数分で完全なウェーハまたはマスクカバレッジを可能にします。Archer A500には、パーティクル、コンタクト、ラインなどの機能を個々の形状やサイズまで正確に識別できる高度な多時間型パターン認識モジュールが装備されています。このモジュールは、優れた10ナノメートルの画像分解能を備えており、欠陥検出性能を向上させます。このツールには、データ駆動型の分類欠陥を正確に識別するために、累積的な欠陥メトリックを使用する自動欠陥分類資産も含まれています。このモデルは、欠落している極性マークやオープン/ショートルーティング接点などの欠陥を検出できます。Archer A500の自動欠陥レビューおよび試験装置は、柔軟性、簡単なセットアップ、高速サイクルタイムを提供します。特許取得済みの画像処理アルゴリズムは、最大スループットと低い拒絶率で、欠陥の完全なプレビューをキャプチャします。Archer A500には、従来の手動検査システムと比較していくつかのユニークな利点があります。プロセス制御の改善、サイクルタイムの改善、欠陥制御の改善を実現します。さらに、欠陥の種類や歩留まり制御の理解が向上し、高度なICウエハおよびマスク検査に最適なソリューションです。