中古 KLA / TENCOR Archer 5300 #9295113 を販売中

KLA/TENCOR Archer 5300は、半導体業界で使用される最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高度なデジタルイメージング技術を使用して、マスクやウェーハの画像をプロセスチャンバーからデジタルフォームに素早く変形させます。これにより、不良品や不規則な製品を正確に検索することができます。KLA Archer 5300には、ダイピクセルマッピングからローカライズされた欠陥絶縁まで、ウェーハの欠陥検出のためのさまざまなツールがあります。マスク検査には、欠陥検出を徹底するための3次元イメージング機能を備えています。このツールは、小型の非表示ピット、傷、その他の表面欠陥を検出するように設計された強化スキャン音響顕微鏡（SAM）モジュールを備えています。Advanced Contamination Detection （ACD）モジュールは、ウェーハの前面と背面の両方に粒子が存在することを検出します。このアセットには、完全に自動化されたエラー訂正とウェハレベルの欠陥カウントのための高度なAuto Senseテクノロジーも含まれています。また、マクロとマイクロフォトグラフィーの両方の画像を処理できる強力なソフトウェアベースの顕微鏡インターフェースを備えています。TENCOR Archer 5300は、操作者がモデルのすべての機能と設定にアクセスできるように、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。機器の各コンポーネントは、統合された遠隔イメージングシステムを介して簡単に観察することができます。このユニットは高度に設定可能で、スピード、感度、欠陥タイプ、水平および垂直視野、およびその他のさまざまなパラメータを含むすべてのマシンの機能を専門的にカスタマイズできます。Archer 5300には、簡単なサンプルローディングとアンロード、および自動サンプルアライメントのためのモジュラーウェハステージが装備されています。ウェーハステージに加えて、さまざまなサイズのウェーハカセットに対応するカセットアダプターと、インラインまたはオフラインの検査に最適なフロントエンドロボットを備えています。結論として、KLA/TENCOR Archer 5300は高度なマスクおよびウェーハ検査アセットです。ウェーハ欠陥検出ツール、高度なAuto Sense、モジュラーウェーハステージを備え、製品の劣化につながる不規則性を迅速かつ正確に検出するように設計されています。