中古 KLA / TENCOR Archer 500 #293799368 を販売中

KLA / TENCOR Archer 500
ID: 293799368
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR Archer 500は、業界をリードするオートメーションと優れた解像度イメージングを組み合わせた最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。高度な半導体材料の欠陥を高速に検出・解析する高分解能検査・ロボット技術を搭載しています。自動化されたウェハローディングとアンロードに加えて、最大8kピクセル分解能の完全統合イメージングマシンと、正確で正確な欠陥ローカライズとイメージングのための2軸ガントリーツールを備えています。アセットの非常に高い精度と分解能により、最小の欠陥でも信頼性の高い検出が可能です。例えば、サブハーフミクロン欠陥を特定することができ、フォトマスクパターンの変化もあります。プロセスのコンプライアンスを確保するために、欠陥の自動分類と分析が可能です。すべてのサイズの欠陥やパターンを検出して比較することができます。自動化されたロボティクスおよびイメージングモデルにより、迅速かつ効率的なウェーハ検査が可能です。その先進的な光学およびイメージングエンジンには、オーバーレイ機能、ハイダイナミックレンジのイメージング、および幅広いコントラストと輝度オプションが組み込まれています。この組み合わせにより、迅速な検査時間と高い精度が保証されます。この装置は最大限の柔軟性と拡張性を備えているため、あらゆるサイズの生産環境に最適です。幅広い生産ラインに組み込むことができ、マスクやウェーハからデバイスや基板まで、さまざまな種類の基板に対応できます。さらに、高度なビジョン技術により、基板ごとにカスタマイズされた検査設定が可能になります。KLA Archer 500は高速で信頼性が高く、サイクルタイムが短縮され、市場投入までの時間が短縮されます。このセットアップは、欠陥レビュー、イメージング分析、データ分析などのアプリケーション向けの堅牢なソフトウェアスイートと組み合わされています。そして最後に、システムは一連のサービスとサポートによって支えられています。これらには、インストールとメンテナンス、ソフトウェア開発とアップグレード、トレーニング、テクニカルサポートが含まれます。全体として、TENCOR Archer 500 Mask&Wafer Inspection Unitは、最高の速度と効率で、厳格で正確かつ正確な半導体ウェーハおよびマスク検査を提供するように設計されています。優れた解像度イメージングと堅牢なビジョンツールセット、および欠陥検出、欠陥分類、欠陥解析を通じて最適な生産を実現する自動ロボティクスを組み合わせています。
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