中古 KLA / TENCOR Archer 500 LCMu #293668510 を販売中

KLA/TENCOR Archer 500 LCMは、マスクおよびウェーハ検査業界のリーディングベンダーです。このモジュールは、製造プロセスの主要な段階における歩留まりに影響を与える欠陥を検出するために特別に設計されたリソグラフィーモジュールです。この装置は、最高レベルの信頼性、精度、効率を兼ね備えた包括的な検査ソリューションを提供するように設計されています。システムの中心には、0。4 μ m未満の解像度で欠陥を検出できる特許取得済みのアーク検査技術があります。Archer 500の高度な光学ユニットにより、マスクとウェーハの両方で表面欠陥、粒子、局所汚れ、およびその他の機能を同時に検査できます。さらに、このツールの優れたDefectivity and Tolerance Index （DTI）機能により、お客様はプロセスの早い段階で、欠陥に影響を与える歩留まりを正確に分類および検出できます。Archer 500は、Optical Column Module （OCM）とImage Analysis Module （IAM）の2つのモジュールでサポートされています。OCMはサンプルの画像をキャプチャする責任がありますが、IAMは画像を処理し、詳細な分析結果を提供するために使用されます。これらのモジュールを組み合わせることで、Archer 500は幅広い検査シナリオをカバーすることができます。アセットの高度な技術により、マスクおよびウェーハ検査の要求の厳しい高速、高解像度、および高スループット要件に対応できます。また、既存の生産設備に容易に統合できるように設計されています。リモートコントロール機能、データ交換機能、高度な診断ツールなど、幅広いユーザーフレンドリーな機能を備えています。物理検査に加えて、Archer 500はプロセスレシピのパフォーマンスを分析するためのさまざまな診断機能を提供します。検査結果とプロセスデータを組み合わせることで、結果を詳細に分析することができ、効率と歩留まりを最大化するために潜在的な欠陥を迅速に特定して排除することができます。全体として、KLA Archer 500 LCMは、マスクとウェーハ検査のための強力なツールです。高速かつ高精度な欠陥検出機能を提供する高度な機能セットにより、歩留まりの最適化、コストのかかるスクラップの防止、手動検査に伴う人件費の大幅な削減が可能です。