中古 KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9354401 を販売中

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ID: 9354401
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
Overlay inspection system, 12" Handler: Standard (3) FOUP Interfaces CIM: SECS and GEM 2013 vintage.
KLA Archer 500 Automated Inspection Module (AIM)は、半導体製造プロセスの歩留まりを改善するために設計された高速、マスクおよびウェハ検査装置です。これはTENCORプロセス制御ソリューションの中核要素であり、製造メーカーが厳しい品質要件を満たすことができるように、ダイレベルおよび欠陥検査を提供します。KLA/TENCOR Archer 500 AIMは、広帯域、周波数倍増、ダイオードレーザーと紫外線センサーを組み合わせた特許取得済みのデュアルフォトンアブソーバ(DPA)検出システムを備えています。この組み合わせにより、数ナノメートルのサイズのダイレベル欠陥に対するクラス最高の感度が得られます。KLA Archer 500 AIMには、高解像度の「グリーン」レーザーが搭載されており、プリントの特徴を測定し、定期的なパターン変動を確認します。このユニットは、自動化されたインファブリケーション用途に最適化されており、1時間あたり最大360個のウェーハを迅速に処理することで、大量生産をサポートします。18インチの大型ウェーハをサポートすることで、標準ウェーハと超薄型ウェーハの両方に最適なスループットを実現します。TENCOR Archer 500 AIMは、信頼性の高い光学プラットフォームにより、低ダウンタイムで優れた検査性能を提供します。高精度のイメージベースのフォーカス技術により、レーザーフォーカスを維持し、最大150個のウェーハをキューに入れます。また、マスクとウェーハの完全なカバレッジを確保するために、マシンのヒューリスティック&セルベースのアルゴリズムは、領域を検査するための最良の方法を計算します。Archer 500 AIMはまた、高度なデータ分析およびレポート機能を提供し、ユーザーはウェーハおよびダイレベルの欠陥に関する詳細な洞察を得てレポートを生成することができます。マッピングと欠陥解析ソフトウェアを備えており、欠陥の正確な位置、サイズ、種類、パターン頻度を表示します。この情報は、製造プロセスの欠陥を特定して対処するのに不可欠です。KLA/TENCOR Archer 500 AIM独自の機能と高速処理時間を組み合わせることで、歩留まりの最大化と最高品質基準の確保を目指す半導体製造会社にとって理想的なソリューションとなります。
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