中古 KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9353831 を販売中

KLA/TENCOR Archer 500 AIMは、高感度の欠陥検出と正確な欠陥特性のために設計された、強力で費用対効果の高いマスクおよびウェーハ検査装置です。高度な光学、紫外線、電子ビームイメージングを搭載し、マスクとウェーハの詳細なデータと包括的な分析を提供し、あらゆる欠陥を包括的に理解します。このユニットは、Archer 500とArcher 500Gという2つのハードウェア構成で使用できます。Archer 500はシングルウェーハ検査をサポートし、Archer 500Gはシングルウェーハ検査と直径12インチまでの基板の両方をサポートしています。これにより、幅広い基板を最高精度で検査することができます。Archer 500と500Gはどちらも、強力な4倍の光学および5倍の紫外線イメージングを備えています。強力な4倍の光学拡大力により、マシンはサイズが0.25µmまでの欠陥を検出することができます。さらに、高精細画像により、各欠陥の正確な位置と特性を徹底的に分析することができます。5倍の紫外線イメージングにより、より細かい検査が可能になり、欠陥のサイズを小さくして、はっきりと正確に検出0.2µmれます。より高度な解析と欠陥特性のために、Archer 500と500Gは高度な電子ビームイメージングも備えています。これにより、ビーム回路検査とゲート領域分析が可能になり、潜在的な欠陥を最も包括的に検査できます。さらに、このツールには高分解能のエネルギー分散分光装置が搭載されており、特定された欠陥の精密な元素解析が可能です。最後に、Archer 500および500Gは、KLA独自のAccuScアウトフィッティングおよび分析ソフトウェアの恩恵を受け、モデルとのシームレスな統合と、データ分析、管理、レポート作成のための包括的な機能を提供します。これにより、機器が存在する欠陥または汚染について正確かつ包括的に理解できるようになります。全体として、Archer 500と500Gは、強力な光学、紫外線、電子ビームイメージングと包括的な分析機能とAccuScソフトウェアの装備を組み合わせた、高度でありながら費用対効果の高いマスクおよびウェーハ検査システムを提供します。このように、ユニットは、最高の精度と精度で完全な欠陥検出と特性評価を提供することができます。