中古 KLA / TENCOR Archer 300 #9258489 を販売中

KLA/TENCOR Archer 300は、完全に自動化されたマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクやウェーハの印刷面とエッチング面の両方の欠陥を高精度で検出するように設計されています。高度な欠陥検出アルゴリズムと高解像度イメージングシステムを備えており、ナノメートル範囲でのユニットの感度を最大限に引き出します。KLA Archer 300には、光学検査ステーション、ウェーハ検査ステーション、スキャンステーションが含まれています。光学検査ステーションは、高解像度DUV顕微鏡とカメラで構成されています。このマシンは、複数の照明角度と高度なアルゴリズムを使用して欠陥を検出および分析します。ウェーハ検査には、高速、高感度、高解像度のウェーハイメージング資産を備えています。スキャンステーションは、複数のマスクまたはウェーハを迅速にスキャンし、欠陥を迅速に検出するために使用されます。TENCOR Archer 300は、EUV、 Eビーム、248nm DUV、 193nm DUV、および157nm DUVなどの高度な欠陥規格に加えて、多様なマスクおよびウエハータイプをサポートしています。このモデルは、マスクとウェーハの両方を同時に検査することができ、また、迅速な中間欠陥解析レポートを生成することができます。最高の精度のために、Archer 300は高度なフォルト耐性イメージング技術を採用しています。また、さまざまな顧客のニーズを満たすために、複数のタイプの欠陥アルゴリズムをサポートしています。装置はあらゆるタイプの計測システムで動作し、他のタイプの検査システムにも適応できます。最後に、KLA/TENCOR Archer 300は、所有コストが低いため、非常に経済的です。それは5年まで持続できる長続きがするLEDの光源を特色にし、低い電力の消費は容易に複製可能なエネルギー節約があることを保障します。さらに、このユニットは最小限のメンテナンスしか必要としません。つまり、時間のテストに耐えるように構築されています。