中古 KLA / TENCOR Archer 300 LCM #9234791 を販売中

KLA/TENCOR Archer 300 LCMは、薄膜マイクロデバイス上の欠陥処分を迅速かつ正確に検査するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。150mm （6インチ）および200mm （8インチ）ウェーハ上の結晶、亀裂、粒子などの重大欠陥の検査用に設計されています。KLA Archer 300 LCMには、高解像度レーザー顕微鏡（LM）と高解像度検査カメラを搭載した高度なリソグラフィーシステムが搭載されています。LMの可変ズーム範囲は0。5〜4。5mmで、6.25µmまでの特徴を正確に識別することができます。検査カメラの解像度は16ビットのピクセル深さで1.5µmされ、良い特徴と悪い特徴を簡単に区別できます。LMとカメラはどちらも、欠陥事前分析のための高度なアルゴリズムを備えており、オペレータの識別時間を短縮するのに役立ちます。素早く正確に画像を取得することができ、検出サイクル時間の短縮に役立ちます。また、正確な検査を保証するキャリブレーション機能も内蔵しています。TENCOR Archer 300 LCMは複数の画像編集ツールも備えており、オペレータは存在する可能性のある欠陥をすばやく特定して測定することができます。このマシンには、自動的に欠陥タイプを認識して分類する強力な自動欠陥検出アルゴリズムが装備されています。これにより、手動検査の必要性を減らすことができます。このツールはまた、簡単に参照するためにデジタル画像を記録して保存します。Archer 300 LCMはKLA知的財産（IP）および自動故障解決ソフトウェアに接続でき、追加のデータレビュー機能を提供します。このアセットは、ほとんどのサードパーティ製ウェーハ検査ソフトウェアおよびデータ分析プラットフォームとも互換性があり、ユーザーはリモートで結果を表示、分析、報告することができます。KLA/TENCOR Archer 300 LCMは、業界標準を満たした信頼性が高く、高速で使いやすいマスクおよびウェーハ検査モデルです。高解像度イメージングおよび自動欠陥検出技術により、正確で迅速かつ効率的な検査が可能になり、欠陥や品質管理に必要な時間とコストを削減できます。