中古 KLA / TENCOR Archer 300 LCM #9232002 を販売中

KLA/TENCOR Archer 300 LCMは、リソグラフィ工程の高品質で自動制御に使用されるマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、先進的な半導体デバイスを製造するための最先端のプロセスを提供することに焦点を当てています。このユニットには、自動パラメーター設定、可変パターンアレイ、および単一のセルウィンドウ欠陥検査を備えた複数のレーザー望遠鏡が含まれています。これにより、さまざまな高度なプロセス手順でウェーハまたはマスクの検査要件を迅速に評価できます。KLA Archer 300 LCMはデュアルイメージテクノロジーを採用しており、2つの画像を並べて比較し、マスクやウエハーが不足している場合は拒否することができます。マシンの小さなウィンドウサイズは、最も微細な欠陥でも拒否することができます。このツールのフルオートメーション機能は、下流のエラーや欠陥の発生を大幅に低減する製造工程のマスクを拒否します。これにより、全体的な生産コストが削減され、不具合の早期発見が容易になり、より良いプロセス結果が保証されます。さらに、アセットの内蔵FMEA（故障モードおよび効果分析）外れ検出機能は、潜在的な問題を浮き彫りにし、貴重な時間を節約します。TENCOR Archer 300 LCMは、既存の生産ワークロードとプロセス手順に統合するように設計されており、手動による介入の必要性を低減します。さらに、このモデルは幅広いマスクサポートシステムで動作することができます。これにより、インターフェースとサポートシステムの面での汎用性が向上し、プロセス管理が簡素化され、データの整合性が向上します。また、使いやすいユーザーインターフェイスを備えており、プロセス制御を最適化し、プロセスパラメータの作成と監視を簡素化します。さらに、Archer 300 LCMは、プロセスの問題を迅速に特定し、修正するための広範なレポートのライブラリを提供します。KLA/TENCOR Archer 300 LCMは、高度なリソグラフィープロセスとマスク/ウェーハ検査用の包括的で信頼性の高いパッケージを提供します。システムの高度なレーザー技術は、正確なプロセス制御と信頼性の高いチップ製造を保証し、推測をプロセスから取り除き、信頼性の高いデバイスを簡単に製造できます。このユニットは、KLAの有名なカスタマーサービスとテクニカルサポートによって支えられており、プロセス制御と完成品の品質の両方でユーザーに安心を提供します。