中古 KLA / TENCOR Archer 200 AIM #9245432 を販売中

KLA/TENCOR Archer 200 AIMは、高度な0。25umおよび0。15umの機能サイズをサポートするように設計された専用のマスクおよびウェハ検査装置です。ファインライン機能を効果的に検査することができ、高精度な測定と報告が可能です。このシステムは、高速で自動化されたデータ収集と分析ユニットを中心に、一連の光学検査技術を中心に構築されています。KLA Archer 200 AIMは、複数の検査モジュールのオプションを備えたモジュラーマシンであり、お客様は特定のニーズに最適なソリューションを構成することができます。このツールは、汚染粒子、総重量次元（CD）エラー、ピンホール、パターン欠陥、不足している層、粒子、抵抗ブリードなど、幅広い欠陥を検出することができます。資産は2つの主要な部品から成っています；画像キャプチャステーション（ICS）と測定モデル。ICSは、自動ウェーハアライメント、スキャン、および画像キャプチャ機能を備えた光学的にアライメントされた検査ツールです。オペレータが迅速かつ正確にウェーハをスキャンできるように設計されており、最終的にはサブ解像度の欠陥が見えない「クリーン」画像を取得することを目指しています。また、この装置は強力な統合検査ソフトウェアを備えており、オペレータに不規則性や潜在的な問題を迅速に特定して警告するように設計されています。測定システムは、データを検査および分析するために設計された強力な統合ソフトウェアツールを備えたプログラマブルユニットです。Measurement Machineには、潜在的な欠陥を識別および定量化するために設計されたアルゴリズムとルールのライブラリが付属しており、詳細なレポートを提供します。ツールは最適な効率を提供するように設計されています。繰り返しマニュアルレビューや冗長測定で時間が無駄にならないようにします。TENCOR Archer 200 AIMは、生産レベルのアプリケーションに最適な高速アセットです。このモデルは、信頼性の高いデータ分析と高速で自動化された画像キャプチャと分析を組み合わせることで、マスク、ウェーハ、およびBR検査のための包括的なソリューションを提供します。また、品質を損なうことなく、ピーク時の需要に合わせてシステムを構成できるスケーラブルな機器です。