中古 KLA / TENCOR Archer 100 AIM+ #293606200 を販売中

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ID: 293606200
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Overlay measurement system, 12" EFEM Does not include HDD 2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer 100 AIM+は、高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。高度な画像解析と計測機能と、最適化された計測プラットフォームとACIS Automated Inspector System (AIS)を組み合わせています。高精度の感光デバイスマスクや、解像度100メガピクセルまでの硬質フォトマスク画像を検査するために設計されています。KLA Archer 100 AIM+は、高速スループットに最適化されており、1時間あたり最大10個のウェーハを検査できます。TENCOR Archer 100 AIM+の高度な画像解析機能により、複数のイメージングアプローチを検査できます。3次元(3D)、 2次元(2D)、サブミクロンの特徴検査に対応できます。さらに、Archer 100 AIM+には「スマートスキャン」機能が搭載されており、欠陥などの関心のある領域にホーンすることで、データ収集と処理時間を最小限に抑えることができます。KLA/TENCOR Archer 100 AIM+のAIS機能は、さまざまなフォトマスクの形状とサイズを検査することができます。粒子の汚染、欠陥、傷、エッチングなどを検出するように設計されています。さらに、ウェーハの性能に影響を与えることなく、ウェーハのさまざまな欠陥を特定することができます。KLA Archer 100 AIM+には、高度な計測プラットフォームも含まれています。このプラットフォームは、プロセス監視と制御のための重要なフォトマスク構造の形状とサイズを測定する能力をユーザーに提供します。計測プラットフォームは柔軟で、お客様の個々の要件に合わせてカスタマイズできます。また、自動化されたデータ収集およびデータ分析機能も備えています。TENCOR Archer 100 AIM+も作業者の安全を考慮して設計されています。クローズドループのヒューマンマシンインターフェイス(HMI)が含まれており、マシン内のすべての機能を制御できます。HMIは、オペレータの人間工学的ニーズを満たすために、いくつかの視点とレイアウトで設計されています。さらに、人員の安全を確保するために、さまざまなアラートが表示されます。全体として、Archer 100 AIM+は、高度な画像解析と計測機能を備えた、高速スループットに最適化された高度なマスクおよびウェーハ検査ツールです。人間工学に基づいた設計は、人員の安全性に対応し、データ収集と分析の正確性を保証します。KLA/TENCOR Archer 100 AIM+は、高精度の感光デバイスマスクと硬質フォトマスク画像を検査するのに理想的な選択肢です。
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