中古 KLA / TENCOR Archer 10 #9237503 を販売中

KLA/TENCOR Archer 10は、半導体製造に使用されるフォトマスクとウェーハの信頼性と正確な測定を提供するように設計されたトップオブラインのマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高精度で非常に小さな機能を測定することができます。複雑な立体構造の測定も可能です。KLA Archer 10ユニットの中心コンポーネントは、高出力光源と効率的なスペクトルフィルタのリニアアレイであり、光強度と色の変化を画像化および検出できます。この機械には「、迷光バッフル」と呼ばれる光学ツールも含まれており、光源からの散乱を排除し、サンプルの特徴だけがイメージされることを保証します。サンプルが照らされると、サンプルの特徴が検出され、アセットは手動または自動解析でサイズ、形状、位置を測定できます。この解析には、スライバ形成などの不規則性の検出、粒子密度、異物欠陥周波数、フォルト特性評価、表面マッピングなどが含まれます。TENCOR ARCHER10モデルはまた、高度な計測機能を提供し、サンプルの特徴の高さ、幅、および地形を測定することができます。透明で不透明な表面の透過率と反射率、およびそれらの表面の色および輝度を測定することもできます。さらに、この機器にはさまざまな制御およびデータ収集ソフトウェアプログラムが付属しており、オペレータは複雑な自動または手動測定を実行できます。また、粒子やイメージング欠陥を検出するための自動焦点を含む、一連の分析およびイメージングソフトウェアも含まれています。Archer 10システムは、高速ビジョンユニットを搭載し、サンプルの高解像度画像をキャプチャするための画像取得デバイスや検出器の広い範囲を提供しています。このマシンは、ダイツダイの均一性などの他の特性を測定することもでき、単一のセッションで複数のサンプルを評価するために使用することができます。堅牢な設計と高度なイメージング機能を備えたARCHER10は、信頼性と正確な測定を提供できる印象的なマスクおよびウェーハ検査ツールです。高速で効率的で正確な解析を提供し、半導体製造に最適です。