中古 KLA / TENCOR Archer 10 #9104743 を販売中

KLA/TENCOR Archer 10は、マスクおよびウェハ検査用に設計された先進的な光学イメージング機器です。Critical-Dimension Scanning Electron Microscopy （CD-SEM）などの半導体アプリケーションに最適で、高精度で集積回路（IC）の重要な特徴を測定することができます。KLA Archer 10の中核は、レーザー、接触、電子ビームイメージングと画期的な自動パターン認識（APR）ユニットを組み合わせたユニークな光学リソグラフィーシステムです。これにより、TENCOR ARCHER10は、非常に複雑なパターンを測定する際に、これまでにない精度とスループットを達成できます。0。1ミクロンのデバイスを正確に測定し、さまざまな形状、サイズ、特徴を持つパターンを自動的に識別できます。TENCOR Archer 10には、最大8Kのウェーハとマスクの解像度をキャプチャする高解像度CMOSイメージングマシンも搭載しています。このツールを使用すると、基板と欠陥を非常に高解像度で表示でき、製造プロセスに入る前に問題を特定して対処することができます。さらに、統合された光学フォルト解析（OFA）アセットにより、モデルを通過する際にウェーハの欠陥をリアルタイムで検出および評価することができます。最後に、ARCHER10には、最大4つの独立したイメージソースを収集および同期できる強力なデータ収集装置も装備されています。このシステムは高効率であり、IC故障解析やIC性能チューニングなど、単一のICの詳細な調査が可能です。全体として、KLA ARCHER10は強力で高度なユニットであり、マスクとウェーハの信頼性、正確性、迅速な検査を提供するように設計されています。オンボード機能、高感度かつ先進的なイメージセンサー、リアルタイムのパターン認識機能を組み合わせることで、半導体検査のリーディングマシンとなります。