中古 KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9351476 を販売中

KLA/TENCOR Archer 10 XT+は、高度で統合されたマスクおよびウェーハ検査装置で、幅広い高度なイメージング機能を提供します。このシステムは、ウェーハと光学レチクルの両方を迅速かつ正確にオンサイトイメージングし、効率を最大限に高め、検査時間を短縮するように設計されています。KLA Archer 10 XT+には、高解像度光学系、完全自動化されたコンピュータ制御アライメントユニット、電動X-Yステージ、自動フォーカススキャン機能が搭載されています。このマシンは、画素あたり最大0。4 μ mの解像度で、500mm x 550mmの視野を撮影することができます。統合された光学モジュールには、LED照明、調節可能なフラッシュ強度、およびウェーハとマスクパターンの両方の最適な照明のための可変レーザー強度が含まれます。このツールには独自の「パースペクティブ補償」ツールも装備されており、アセットはパターンを0。35 μ mまで可視化できます。TENCOR Archer 10 XT+は高速イメージングを提供し、市場の他の統合モデルよりも最大2倍の高速スループットを実現します。この速度により、欠陥の迅速な検出と診断が可能になり、プロセスの歩留まりと品質保証が向上します。内部では、高精度のイメージングオプティクスから直接得られる画像を処理するために、アプリケーション用にカスタムビルドされた高度なソフトウェアアルゴリズムを採用しています。これらのアルゴリズムは、データを圧縮して元の信号対ノイズ比を保持し、同時にフィールドイメージの欠陥を検出して特徴付けします。ソフトウェアはまた、システムのセットアップをカスタマイズする柔軟性と画像プロセッサから直接高解像度の画像を表示する機能をオペレータに提供します。ユニットの全体的な柔軟性と変調により、異なるマスクおよびウェーハアプリケーションに効率的に調整することができます。用途に応じて、マシンに幅広い構成を適用することができます。例えば、画像の品質を向上させるために非球面光学系とディオプトリックオプティクスをツールに追加することができ、複数のステージを持つイメージングシステムを簡単に構成することができます。要するに、Archer 10 XT+は、高速スループット、高解像度、カスタマイズ可能な構成、およびマスクおよびウェーハイメージング用に特別に設計されたソフトウェアアルゴリズムを提供する高度な統合マスクおよびウェーハ検査アセットです。その高度なイメージング機能により、欠陥を検出する能力が大幅に向上し、プロセスの歩留まりと品質保証が大幅に向上します。