中古 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9280138 を販売中
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販売された
ID: 9280138
ウェーハサイズ: 12"
Overlay measurement system, 12"
With ASYST Isoport Load port, P/N: 9700-9129-01 REV. K
Dual load ports EFEM
BROOKS AUTOMATION Handler
With pre-aligner and robot
SBC Controller
Robot controller
Signal light tower: Red / orange / green
Main body
Handler
Monitor
I/O Interface board
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Pneumatic box
Optic
Z-Stage
Printer
Shelf
Keyboard
Mouse
Signal light tower
Missing parts:
BROOKS AUTOMATION Robot blade, P/N: 6-0002-0999-SP
BROOKS AUTOMATION, P/N: 6-0052-0887-SP
Controller
EMO
Floatation controller
(5) Motion controllers
Computer
Shutter module
Lamp housing module
PZT Controller
DC Transformer
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase.
KLA/TENCOR Archer 10 XTは、最も要求の厳しい半導体製造の要件を満たすように設計された次世代のマスク&ウェーハ検査装置です。最先端の検査技術プロバイダーKLAによって開発されたこのシステムは、高度なパターン認識、3D表面測定、デジタル画像相関、予測分析などの複数の最上位ツールを備えています。KLA ARCHER10XTは、ウェーハおよびマスク製造、パッケージング、および故障解析用の超高精度、高速イメージングソリューションシステムのTENCORファミリの最新モデルです。TENCOR ARCHER 10XTは、速度、精度、堅牢性を重視し、133nmまでの解像度で高度なイメージング機能を提供します。このユニットのScanning Electron Microscope (SEM)は、ウェハ上のトランジスタゲートやその他の機能などのアイテムの超高解像度デジタル画像を提供します。これは単一のスキャンで行うことができ、幅広い検査戦略を適用することができます。このマシンは、迅速かつ効果的に検査し、比類のない速度、精度、精度で欠陥や変動を識別するのに役立つ詳細で正確なデータを生成することができます。KLA/TENCOR ARCHER 10XTは、高繰り返し精度で欠陥を特定しマッピングしながら、卓越したGlobal CD (GCD)の表面粗さを測定する高度なDefectTeller™ 3D表面測定を備えています。このツールのUltraArt™予測分析とデジタルイメージ相関機能により、ユーザーはデバイスまたはマスクの機能をより詳細に正確かつ確実に測定できます。このアセットは、ウェーハ検査の限界を押し広げ、追加のパフォーマンス向上で簡単にアップグレードすることができます。KLA/TENCOR独自の「Swap&See」アップグレードプロセスにより、お客様は新しいハードウェアコンポーネントを購入することなくTENCOR Archer 10 XTをアップグレードすることができ、最大の価値とトータルプロセスのパフォーマンスの最適化を可能にします。KLA ARCHER 10XTは、スマートフォンなどのサブウェーブデバイスから最先端の半導体デバイス向けの高度なノードプロセスノードまで、幅広いメーカーにとって理想的なソリューションです。このモデルは、優れた欠陥検出、コスト削減、信頼性の高い製造性能を提供し、ウェーハおよびマスク検査の新しい標準を設定します。
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