中古 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9276259 を販売中

KLA / TENCOR Archer 10 XT
ID: 9276259
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Overlay inspection system, 12" 2005 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XTは、高速で正確で信頼性の高い検査を実現するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。独自の高解像度光学システム、10x倍率、ウエハモーション技術を搭載し、サブミクロンレベルの精度を実現しています。急速に進歩する技術の組み合わせは、マスクとウェーハの欠陥を検査するための効率的で正確なユニットになります。KLA ARCHER10XTは、6種類のレーザー共焦点イメージングを使用して、マスクとウェーハ上の重要な領域の詳細なイメージングを行います。ハイスループットイメージング機能を備え、4ミクロン以下のサイズの欠陥を検出することができます。これはいくつかの技術の組み合わせによって行われます。2つのレーザーの頭部を特色にする高度の照明機械を含んで;緑と赤のレーザーです。この2つのレーザー波長のコントラストは、画像解析と欠陥検出を可能にします。イメージングツールは、画像データから欠陥信号を抽出する最適化されたアルゴリズムと統合されています。このアルゴリズムは、収集されたデータをより正確かつ迅速に分析するために、毎秒最大85,000ピクセルの処理が可能です。さらに、TENCOR ARCHER 10XTは、自動欠陥検出および分類モジュールを備えた強力なSoftware Analysis Suiteと統合されています。このモジュールは、欠陥を正確かつ迅速に検出および分類し、リアルタイムの欠陥分析、欠陥のソート、マスクスキャンレビュー、およびリアルタイムの統計評価を提供します。さらに、KLA Archer 10 XTは、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルインターフェイスを備えており、堅牢な機能のコレクションを通じて素早く簡単にナビゲーションできます。インタラクティブなユーザーインターフェイスは、ヘルプファイルと資産の運用を支援する包括的なツールを提供します。さらに、コンパクトな設計により、インストールとメンテナンスが簡単で、ダウンタイムが最小限に抑えられます。全体として、TENCOR ARCHER10XTは非常に高速で正確で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査モデルです。優れた光学性能、優れた画像取得機能、高度なソフトウェア解析スイートの組み合わせにより、大量および精密検査のニーズに適しています。この装置の直感的なユーザーインターフェイスにより、迅速な学習曲線が確保され、コンパクトなサイズで簡単な設置とメンテナンスが可能です。
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