中古 KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9261900 を販売中

KLA Archer™ 10 XT+は、完全に自動化されたマスクおよびウェーハ検査用のハイエンド機器です。このシステムは、フォトマスクとウェーハの両方の欠陥を検出するための高度なIC製造アプリケーション用に設計されています。KLA/TENCOR Archer 10 XT+は、高画質と鋭いフォーカスを提供する高解像度イメージング技術を使用して、表面の小さな欠陥を検出します。自動メトロロジーユニットを備えており、さまざまなパターンや機能を測定および分析できます。ソフトウェア制御の5軸リニアモーターステージにより、マスクやウェーハを迅速かつ正確に操作できます。このツールにはレーザー干渉測定スキャナが装備されており、ウェーハあたり最大100億の測定ポイントを提供します。また、レーザー照明付きの超狭視野検査ヘッドを備えており、高解像度スキャンで重要な欠陥を検出するために使用できる照明付き顕微鏡エリアを備えています。KLA Archer 10 XT+は、強力な画像認識技術を使用して欠陥を特定します。IAPS （Imaging Analysis Processing Asset）は、欠陥状態のデータを自動的に出力し、プロセス汚染から微粒子、傷、微粒子を検出することができます。さらに、このモデルの遠隔診断機能は、欠陥情報の評価、故障診断、および機器操作の状態監視のためのリモートアクセスを提供します。最後に、TENCOR Archer 10 XT+は迅速なキャリブレーション機能を提供し、ダウンタイムを最小限に抑えながら正確かつ定量的な結果を得ることができます。高精度で自動化された校正装置は、光学系とメカニカルステージシステムのアライメントを測定し、最高の精度と再現性を保証します。このユニットは、さまざまなアプリケーションに堅牢な検査ソリューションを提供することができます。ミクロンレベルの欠陥やパターンベースの検査など、最も要求の厳しい組み込み欠陥検査ニーズを検査することができます。そのハイエンドの技術と機能は、プロセスの安定性と歩留まりの向上とともに、欠陥を迅速かつ正確に検出することができます。