中古 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9092331 を販売中

KLA/TENCOR Archer 10 XTは、フォトマスク、ウェーハ、およびその他の半導体基板の自動検査および分類用に特別に設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。高性能オプティクス、高度な画像処理アルゴリズム、およびレーザー技術を組み合わせた完全に統合されたスタンドアロンシステムで、マスク機能の正確で詳細な特性評価を提供します。KLA ARCHER10XTは、自動化された多波長プロジェクションユニットを使用して、マスクやウェーハの高精度な画像データを取得します。10メガピクセルデジタルCMOSイメージセンサを搭載したプロジェクションマシンは、3。3 μ mのキャリブレーション解像度と最大0。2 μ mの全体的な正確な測定を備えています。また、可変的な数値開口範囲を持つ高度な光学系、および測定要件に応じて照明の強度と波長を調整するレーザー制御モジュールが含まれています。画像データのデータ処理は、異なるアルゴリズムを実装する自動画像前処理および分析ツールを介して行われます。これらのアルゴリズムは、インデックス、フィーチャーサイズ、および特定の属性に関して画像データを分析します。また、データの分析を最適化し、特徴の正確な分類を得るために分類アルゴリズムを適用します。一度処理すると、TENCOR ARCHER 10XTは、エクスポート可能な形式でレポートやカスタマイズされたデータ分析の広い範囲を生成することができます。また、他の検査システムによるさらなる分析のために、生のデータファイルをエクスポートすることもできます。さらに、品質保証管理のための詳細で追跡可能なドキュメントも提供しています。さらに、ウェーハ検査およびプロバーオートメーションシステムと完全に互換性があり、完全に自動化された環境で動作するように構成することができます。また、ARCHER10XTはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と使いやすさと操作のための直感的なナビゲーションを提供しています。また、カスタマイズされた検査タスク用の事前構成済みテンプレートとユーザー定義テンプレートのライブラリ、および異なるマスクやウェーハに合わせた複数の自動レシピも含まれています。これにより、必要なパラメータの定義と保存が容易になり、検査時間と生産コストが大幅に削減されます。TENCOR Archer 10 XTは、フォトマスクとウェーハのメーカーにとって理想的なソリューションです。高精度で信頼性の高い検査モデルを提供し、マスクの特徴と欠陥の迅速かつ正確で包括的な特性評価と分析を提供します。