中古 KLA / TENCOR Archer 10 XT #293750588 を販売中

KLA/TENCOR Archer 10 XTは、高度なウェーハ欠陥検出およびプロセス監視を可能にする優れたイメージング機能を提供する高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。KLA ARCHER10XTは10nmまで正確に欠陥を検出することができます。高速スキャン、400nm以下の解像度の低いフラックス光源、0。3nmの横方向およびZ軸の解像度を持つ3次元顕微鏡技術など、さまざまな技術を採用しています。さらに、最新の欠陥検出アルゴリズムを搭載し、マスクやウェーハ表面の高スループットおよび効率的な検査を容易にします。TENCOR ARCHER 10XTは、マスクおよびウェーハ表面の自動2D、 3Dおよび欠陥ベースの検査に使用できます。500種類以上の欠陥をサポートし、優れた検出および特性評価機能を提供します。また、ライン幅/CD、 クリティカルエリア/CAD解析、パーティクル/欠陥検査など、さまざまな検査の効率的なスキャンタイムを実現します。このツールの高解像度スキャン光学系は、10nm以下の高感度検出を可能にします。このアセットは、モジュール構成のオープンアーキテクチャ設計を採用しており、容易な拡張と柔軟性を実現しています。リモートアクセスとオートメーション、複数のユーザーサポート、マルチポイントのリアルタイム表示など、さまざまな機能を備えています。さらに、このモデルは、FOUP処理、イメージライブラリ、欠陥追跡などのフルサービスオプションを通じて高いプロセススループットを提供します。KLA Archer 10 XTには、包括的なウエハプロセス制御を可能にする包括的なプロセス分析ツールも含まれています。この装置は、3分未満でウェーハの結果を提供し、スポットチェック、フォトマスク、フォーカスマップ、ライン幅スキャン、欠陥マップ表示など、さまざまなデータ取得モードを提供します。ARCHER10XTは、ジョブスケジューリングとコーディネート、自動アライメントとフォーカス制御、自動フォルト分離、自動データ解析など、包括的なオートメーション機能も提供します。さらに、モジュラー設計により、プロセス固有のソフトウェアモジュールで簡単に拡張でき、お客様は独自のプロセス要件に合わせてシステムをカスタマイズできます。全体として、KLA ARCHER 10XTは、低ノイズイメージングと高度な欠陥検出機能を提供する高性能マスクおよびウェーハ検査ユニットです。KLA/TENCOR ARCHER 10XTは、ハイスループットプロセス機能、モジュラー設計、オートメーション機能を備え、高度な検査およびプロセス制御を必要とするお客様に最適なソリューションです。