中古 KLA / TENCOR Archer 10 AIM+ #9236397 を販売中

KLA/TENCOR Archer 10 AIM+は、マスクおよびウェハ検査用の高度なイメージング計測および欠陥レビュー（AIMD）ソリューションです。本装置は、マスクやウエハーの欠陥を特定するために、ブライトフィールドライト、高度な光学技術、高速カメラ技術を組み合わせて使用します。このシステムは、HMPST （High-marked Point Source）を使用して、正確で反復可能な画像を照射してキャプチャします。KLA Archer 10 AIM+には、BrightfieldとDarkfieldというアプリケーションに基づいた2つの異なるイメージングモジュールが装備されています。ブライトフィールドモジュールは、欠陥検出およびリソグラフィ最適化のためにブライトフィールド照明を使用し、自動欠陥レビューのためのフォーカシングおよびイメージング光学およびフルフィールド照明を含みます。ユニットのより暗いフィールドは、ウェットエッチング、ブリッジング、チッピングなどの特定の欠陥を検出するときに感度を高めるように設計されています。この機械は、最大700℃の温度まで、直径6インチの大きなマスクとウェーハの両方を処理できます。TENCOR Archer 10 AIM+は、高度なハードウェアアーキテクチャを使用して、高速で効率的なデータ転送と画像処理を可能にします。ツールによって収集された画像データは資産自体に保存され、技術者はいつでもそれをレビューして分析することができます。このモデルは、自動欠陥レビュー、高度なデータ分析、高度なパターンマッチングなど、幅広い機能と技術を提供します。また、オブジェクトアセンブリと欠陥識別ツールを使用して、欠陥を正確に特定して分類します。さらに、この装置は欠陥タイプを定量化し、プロセス感度を特定し、欠陥トポロジレポートを生成するための欠陥解析を行うことができます。精度と再現性を確保するために、Archer 10 AIM+は光学オートフォーカスを備えており、最適なフォーカスを得るためにサンプルを分析し、最適なフォーカスを再構築するためにサンプルの振動と位置を調整することができます。このシステムは、高温環境で使用するための高輝度オプションと、ユニット寿命を延ばす低消費電力オプションも備えています。最後に、KLA/TENCOR Archer 10 AIM+には、簡単なセットアップとプログラミングを容易にするユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。このマシンには、リアルタイムのエラー検出と補正機能と、追加の精度のための後処理アルゴリズムも含まれています。KLA Archer 10 AIM+は、ウェーハおよびマスクメーカーが最大の歩留まりを達成し、信頼性の高い品質データを費用対効果の高い方法で取得するのに役立ちます。