中古 KLA / TENCOR 9110 #293606940 を販売中

KLA/TENCOR 9110マスクおよびウェーハ検査装置は、リソグラフィーマスクおよびウェーハの自動検査用に設計されたハイエンドの自動検査プラットフォームです。KLA 9110システムには、完全に囲まれた統合光学ユニット、画像品質解析（IQA）アルゴリズム、および大規模ジョブの高速かつ正確な結果を可能にする完全に自動化されたソフトウェアスイートが含まれています。TENCOR 9110マシンは、調整可能な光学、スケール、フォーカスサブシステムを備えた5MP CMOSデジタルイメージングプラットフォームを備えています。このツールは、完全に囲まれた光学チャンバーで設計されており、広い視野と大きなダイナミックレンジを可能にします。この光学系は、レンズ、カラーフィルター、無色のプリズムを組み合わせて使用し、広い視野、高解像度のイメージングおよび画像解析を可能にします。KLAアルゴリズムの統合により、CADパターン、基板タイプ、資産設定、および他のいくつかのパラメータに基づく欠陥の自動フィルタが可能になります。このアルゴリズムは、分光計、イメージングとサイジング、ダイ識別子フラグ、検査データの取得と分析、欠陥サイズ測定などのユニークな測定セットによって補完されます。このモデルはまた、欠陥の認定、検査パラメータの設定、エンジニアリンググラフ、パターン認識などを支援するインタラクティブで直感的なユーザーインターフェイスを提供しています。この直感的なGUIには、完全に統合されたヘルプメニューがあり、簡単なナビゲーションと操作が可能です。9110マスクおよびウエファーの点検装置は極度な正確さおよび反復性を提供します。検査プロセスの高精度と可視化により、半導体ウェハ検査、ダイツダイ検査、ウェハレベルの欠陥表示、マスクの完全性およびパターン精度検証など、多くのアプリケーションに適しています。人員と機器の安全と保護を確保するために、ユニットには付属部品のスイートが含まれています。これらの付属品には、真空機、冷却ツール、機械ローブ、外部からの汚染のリスクを最小限に抑えるセルフロック蓋が含まれます。KLA/TENCOR 9110アセットには、振動を最小限に抑え、より大きな生産ジョブを処理する際の全体的な精度を向上させるスキッド重量の最適化も付属しています。全体として、KLA 9110マスクおよびウェーハ検査モデルは、信頼性が高く、高精度で直感的な検査プラットフォームであり、リソグラフィーマスクおよびウェーハの自動検査を実現します。多数の機能、堅牢なアルゴリズム、直感的なユーザーエクスペリエンスにより、検査ジョブを迅速かつ正確に処理できます。