中古 KLA / TENCOR 7200 #293828742 を販売中
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KLA/TENCOR 7200は、フォトマスクやウェーハの層を正確に検査するために使用されるマスクおよびウェーハ検査装置です。厚さ0。3〜2。4mmのウェーハ上の0.1µm分解能で欠陥を検出する高度な光学検査技術を使用しています。高精度・高性能な半導体デバイスやMEMSの製造に適しています。KLA 7200システムは、Red Skinステージ、イメージングユニット、パターン認識機、欠陥レビューツールなど、多くのコンポーネントで構成されています。Red Skinステージはフォトマスクとウェーハの両方に対応でき、光源、光学、カメラから構成されるイメージングアセットは、最大解像度の0.1µmでサンプルの画像をキャプチャします。パターン認識モデルは、アルゴリズムを使用してエッジと構造の不規則性を検出し、欠陥レビュー装置は画像のライブラリを保存し、適合性と慎重性の欠陥のためにそれらをレビューします。TENCOR 7200システムは、さまざまなサンプルを処理することができます。フォトマスクの場合、単位は表面の欠陥、ライン幅の不規則性およびピンホールを検出できます。ウエハーの場合、パターン一致の欠陥、ライン幅の不規則性、粒子欠陥などを検出できます。7200には、データの使用と処理を容易にするソフトウェア機能も強化されています。これらの機能には、自動ウェハマップのソート、高度な実行/トレース分析、マスクレスオートフォーカスなどがあります。全体として、KLA/TENCOR 7200は、表面および層の不規則性を高精度に検出できる汎用性と信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査機です。高度な光検査技術、包括的なソフトウェア機能、効果的な欠陥レビュープロセスを組み合わせることで、さまざまな部品を最大限の精度で検査しようとするメーカーにとって理想的な選択肢となります。
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