中古 KLA / TENCOR 7200 #293662762 を販売中
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KLA/TENCOR 7200は、マスクやウェーハの高度な光学検査用に設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、インプロセスまたは最終段階のウェーハ検査のためのさまざまな精密測定を行うことができ、リソグラフィ、レジスト、設計関連の欠陥など、さまざまな材料や技術を検査することができます。KLA 7200の高度な光学系は、重要なレビューと分析に適した高品質の画像を提供します。TENCOR 7200は4つのメガピクセル色のlinescan/framescanの雑種のカメラが付いている高度のイメージ・ベースの光学検査の単位を利用します。可視および近赤外線イメージングを組み合わせ、表面の微小欠陥を高解像度で検出する検査装置です。さらに、すべての画像は、ダイナミックレンジ、明るさ、ゲイン、コントラストなど、さまざまな調整可能なパラメータの影響を受け、最高の画質と欠陥検出機能を保証します。このツールの画像解析技術は、リソグラフィ、レジスト、および設計に関連するエラーに関連するさまざまな欠陥を識別および分析するために設計されています。独自のソフトウェアスイートにより、プログラミングとリアルタイムのフィードバックが容易になり、資産は非常に柔軟で強力です。さらに、最先端の自動ウェーハ処理モデルにより、再現性の高い結果が保証されます。また、自動欠陥分類機能により、迅速かつ効果的な欠陥解析のためのフレームワークが提供されます。7200はまた、自動焦点調整、レンズ歪み補正、パターン認識、自動欠陥識別など、精度と効率を保証するさまざまな高度な機能を提供します。その先進的な光学系により、機器は均一な照明環境と均一でない照明環境の両方で動作することができます。さらに、走査型電子顕微鏡(SEM)や白色全方向干渉計(SWLI)などの計測システムとの直接的な互換性を提供し、さらなる分析を行います。さらに、このシステムは様々な小さなパッケージに収納することができ、経済的で簡単に設定でき、ポータブルになります。さまざまなモニターと互換性があり、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、オペレータは設定をすばやく簡単に変更し、データを確認できます。要約すると、KLA/TENCOR 7200は、インプロセスまたは最終段階のウェハ検査のためのさまざまな精度測定を可能にするように設計された高度なマスクおよびウェハ検査ユニットです。ダイナミックレンジ、明るさ、ゲイン、コントラスト調整、オートフォーカス調整などの高度な機能を備えており、さまざまなリソグラフィ、レジスト、デザイン関連のエラーを検出することができます。高度な光学技術と自動化されたウェーハハンドリングマシンにより、再現性の高い結果を高精度で提供することができます。最後に、柔軟な設計により、アセットはさまざまな環境やアプリケーションに簡単に適応できます。
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