中古 KLA / TENCOR 45 #38072 を販売中

KLA/TENCOR 45マスク&ウェーハ検査装置は、製造および研究開発の両方のウェーハ製造プロセスで使用するように設計されています。このシステムは、1ピクセルあたり最大1ミクロンの解像度で最大45個のKLAウェーハを同時に検査することができます。このユニットはウェーハ上を移動するようにプログラムできる5軸ステージを備えており、追加のステージを必要とせずに包括的なカバレッジを可能にします。先進のRGB、赤外線・紫外線（UV）照明、同軸干渉測定ツールなど、さまざまな画像キャプチャと加工技術を搭載しています。RGB照明は高いダイナミックレンジのイメージ投射を提供するのに使用されています赤外線および紫外線照明は資産が肉眼では見えない波長を点検することを可能にします。同軸干渉モデルを使用すると、ウェーハ表面の3次元画像をキャプチャできます。検査装置は、Windows PC上で動作するグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によって制御されます。これにより、ユーザーは簡単にシステムをナビゲートし、画像を表示および分析し、さらにレビューのために結果をエクスポートすることができます。このユニットは、粒子、傷、ラップアラウンド、短絡および開回路、ブリッジおよび形状欠陥を含む幅広い欠陥を検出することができます。さらに、ダイ歩留まりの自動推定、オーバーレイおよびミニボリューム割り当ての空間データ分析を提供することで、貴重なプロセスのフィードバックを提供します。このツールは高度に設定可能で、ユーザーは独自の検査パラメータとプロファイルを設定およびカスタマイズできます。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションのアセットを最適化できます。このモデルはまた、さまざまなファイル形式をサポートしており、最新のサードパーティ製ソフトウェアツールを使用してデータを表示および分析する柔軟性をユーザーに提供します。要するに、TENCOR 45マスク&ウェーハ検査装置は、生産および研究ウェーハの検査と分析のための強力で柔軟性のあるプラットフォームを提供します。このシステムは、画像キャプチャや解析から欠陥検出やフィードバックまで、幅広い機能を備えています。使いやすいGUIと幅広いファイルフォーマットを備えたこのユニットは、ユーザーにウェーハ検査プロセスの高度な柔軟性と制御を提供します。