中古 KLA / TENCOR 3Di #9384479 を販売中

KLA/TENCOR 3Diは、集積回路の高速製造のための優れた欠陥検出を可能にするように設計された先進世代のマスクおよびウェハ検査装置です。3Dイメージング技術は、高さ、色、明るいフィールド、暗いフィールドの情報を使用して顕微鏡の欠陥を検出するだけでなく、既知のパターンとダイを比較して不一致を検出するウェーハからマスクへのアライメント機能も備えています。KLA 3Diには、5メガピクセル検出器が装備されており、重要な機能の高解像度イメージングを可能にし、欠陥源の検出における感度を向上させます。また、パラメトリック欠陥と非パラメトリック欠陥の両方を迅速かつ正確に検出するための強力で特殊なアルゴリズムも提供します。このシステムは、欠陥感度を犠牲にすることなく、より高いスループットを可能にするために高度なピクセルビニング機能、自動欠陥検査用の標準フォーマットとの互換性、および分析およびアーカイブのための検査画像および関連ウエハ情報を格納するデータ蓄積機能を備えています。TENCOR 3Diは、リアルタイムで可視化された3Dプロファイルを使用して、2Dと3Dの両方のサブミクロンサイズの順序で欠陥を検出したり、後で分析するためのリファレンスファイルとして保存したりできます。欠落している、シフトされている、ストレッチされている、回転している、または他の方法でずれたフィーチャーとレイヤーを識別することができます。また、地形、ステップハイト、輪郭線などの画像から必要なデータを抽出することもできます。このユニットは、現在のすべてのマスクリソグラフィーシステムと互換性があり、直感的なユーザーインターフェイスにより、オペレータは検査パラメータをカスタマイズし、生のウエハイメージを表示し、複数の欠陥タイプを分析することができます。これは互換性のあるステージマシンを採用しているため、セットアップが簡単で、それ以外の場合は非常に複雑なプロセスである可能性があるものを迅速に検査することができます。最後に、3Diツールには高度なノードイメージの微妙な欠陥を検出できるインテリジェントな自動検出アルゴリズムが搭載されており、歩留まりが向上し、全体的なデバイス品質が向上します。これにより、完成品の市場投入までの時間を短縮できます。