中古 KLA / TENCOR 3200-1226-03 #9294184 を販売中

KLA/TENCOR 3200-1226-03は、半導体ウェーハおよびマスクのリソグラフィ機能、欠陥、および計測を明らかにすることができるウェーハおよびマスク検査装置です。フルウェーハ、レチクル、マスク製造プロセスをサポートするために設計されたハイパーフレキシブルな高解像度システムです。KLA 3200-1226-03は強力なイメージング機能を備えており、最大200mm x 200mmの視野から1ミクロンの小さい機能までズームできます。また、20nmの精度でアライメントを自動化し、検査中に手動でウェーハとマスクをアライメントする時間を短縮します。また、ライトバランス技術と照明ランプダウン保護の向上による欠陥検出感度の向上も含まれています。このユニットは、欠陥がより容易に検出可能であるため、より効率的にアドレス指定可能であることを保証します。このマシンは、デジタルビデオプロセッサ（DVP）、高解像度デュアルゾーンカメラ、ファイバーアレイイメージングツール、プロジェクションアライメントアセット（PAS）を含むマルチビームレーザースキャンステーションで構成されています。マルチビームレーザースキャンステーションは、ウェーハとレチクルマスクの両方を1時間に最大50個のウェーハ速度で検査することができ、単層システムと比較してスループットが向上します。マルチビーム技術は、異なる深さでの検査も大幅に高速化します。デジタルビデオプロセッサ（DVP）は、Advanced Pattern Recognition （APR）およびFOI （Feature-Oriented Inspection）技術の両方をサポートすることができます。これにより、より詳細で信頼性の高い欠陥検出が可能になり、高度な検査技術の使用が簡素化されます。高解像度デュアルゾーンカメラは、より高度なアルゴリズムを使用して、より広い領域の欠陥を検出することができます。これにより、欠陥に対する感度が向上し、検査速度が向上しました。ファイバーアレイイメージングモデルは、さまざまなタイプの欠陥を検出するための複数の照明方法をサポートするように設計されています。複数の画像を同時に検査することも可能で、青とUVの両方の照明に対応しています。これらの機能はプロジェクションアライメント装置（PAS）によって補完され、ウェーハおよびレチクル画像の正確で迅速な自動アライメントを提供します。これは、ウェーハやマスクの検査プロセスを大幅にスピードアップするのに役立ちます。要するに、TENCOR 3200-1226-03は、幅広い分野の欠陥を迅速かつ正確に検出できる高度なウェーハ検査システムです。その主な機能は、マルチビームレーザースキャン、デジタルビデオプロセッサ、高解像度デュアルゾーンカメラ、ファイバーアレイイメージングユニット、投影アライメントマシンなどがあります。これらの機能を組み合わせて、このツールはウェーハとマスクを検査するための最適なソリューションになります。