中古 KLA / TENCOR 3200-1225-03B #9294183 を販売中

KLA/TENCOR 3200-1225-03Bマスクおよびウェーハ検査装置は、欠陥のウェーハを検査することが可能な高性能ツールであり、リソグラフィープロセス用のマスクまたはウェーハ上のダイの位置を迅速かつ正確に調整することができます。ライン幅が25 µm〜1。2mmのウェーハを検査できるように設計されており、測定精度は+/-0。25 µmです。このユニットは、+/-0。05 mm x 0。12 mmの再現性をマスクする8インチダイ、+/-0。04 mm x 0。13 mmの再現性をマスクする12インチダイ、および+/-0。02 mm x 0。06 mmの多層インダイ再現性を備えています。KLA 3200-1225-03Bマシンには、ステップと繰り返しプロットアルゴリズムを備えた高速デュアルプローブレーザースキャナが装備されています。このスキャンおよびプロットツールは、マスクまたはウェーハの表面全体にレーザービームを素早く移動させ、欠陥を正確に検出および処理できます。このアセットは、KLA独自のOptical Character Recognition （OCR）技術を使用して、マスクまたはウェーハ上の特徴を特定して測定し、基準と比較します。さらに、TENCOR 3200-1225-03Bモデルには専用のイメージングおよびトラッキングソフトウェアが搭載されており、ポータブル登録技術により、ウェーハとマスクの正確なアライメントを保証します。この技術は、パターンデータの適切な配置と正確な配置を保証し、オフセットパターン生成の問題を解決します。3200-1225-03B装置の独特な傾斜したエッジ設計は、内部パターンレイアウトを正確にトレースできるため、その精度にさらに貢献します。KLA/TENCOR 3200-1225-03Bは、検査結果に関する包括的なレポートを収集および作成する、最先端のデータ分析およびレポート作成ツールも提供しています。これにより、お客様は生産作業をリアルタイムで調整し、最高レベルの品質保証を保証することができます。結論として、KLA 3200-1225-03Bマスクおよびウェーハ検査システムは、幅広いデータ収集および分析機能を提供できる高度なツールです。精密で正確なマスクおよびウェーハ検査用に設計されており、お客様に高品質の製品を保証します。