中古 KLA / TENCOR 3000 #9236714 を販売中

KLA/TENCOR 3000は、ナノテクノロジー製造のための精密で詳細な分析を提供するように設計されたハイエンドマスクおよびウェハ検査装置です。それは生産テストおよび品質管理からの研究開発（R&D）にいろいろな適用に、使用することができます。このシステムは、その結果を達成するために複数の技術の組み合わせを使用します。その光学系には、高解像度充電結合デバイス（CCD）カメラ、マイクロスポットイルミネータ、複雑な機能の構築と検査に使用されるレーザーオートフォーカスシステムが含まれます。また、ナノメートルスケールまでの距離と構造の正確な測定を提供する精密なエンコーダユニットも含まれています。このマシンは、3種類のイメージングセンサーを使用して、ウェーハとマスクパターンの仮想断面を作成します。これらには、明るいフィールド、暗いフィールド、コントラストイメージングセンサーが含まれます。センサー情報は強力な画像処理ツールによって処理され、ウェーハとマスクの詳細な画像が作成されます。KLA 3000には、貴重なツールとなる高度な機能が多数あります。これらには、柔軟なソフトウェア制御資産、強力なオートメーション制御、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれます。このモデルでは、テスト履歴ログとパラメータ履歴ログへのリアルタイムアクセスも利用できます。さらに、TENCOR 3000は、ウェーハからウェーハへの迅速な検査プロセスを提供します。1時間あたり最大1,200個のウェーハを稼働させることができ、全体の検査工程時間を大幅に短縮できます。その正確な性質と小さな欠陥を識別する能力は、研究開発にも理想的です。最後に、3000は広範囲の売り上げ後のサービスによって支えられます。カスタマーサービスチームは24時間年中無休で対応し、テクニカルサポートを提供しています。機器には広範な保証が付属しており、顧客が購入を最大限に活用できるようにしています。