中古 KLA / TENCOR 2835i #9384468 を販売中

ID: 9384468
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
System, 12" EFEM Module YASKAWA Robot 9206 With (2) IsoPorts 2008 vintage.
KLA/TENCOR 2835iは、フォトマスクやウェハ上の小さな欠陥や不均一性を検出するために使用されるマスクおよびウェハ検査装置です。これは、高度なイメージング技術と特殊なソフトウェアアルゴリズムのユニークで高度な組み合わせを利用して、表面レベルの異常から汚染や材料の誤動作まで、デバイスの欠陥の完全なスペクトルに関する詳細な情報を提供します。このシステムには、フォトマスクまたは集積回路上の特徴を顕微鏡レベルで撮影する高解像度イメージングヘッドが含まれています。イメージングヘッドには、4GBのRAMと最大64GBのハードディスク容量を備えたPentiumコンピュータが搭載されています。専用の自動化されたウエハハンドリングユニットは、ウエハをイメージングヘッドの視野に正確に配置し、正確な欠陥位置と検査を可能にします。KLA 2835iは、完全な欠陥検出のために、光場と暗場の両方のイメージングを提供します。これには、化学物質と化合物を識別するための地形測定と元素スペクトルの両方が含まれます。専門的なソフトウェアとアルゴリズムは、疑わしい欠陥のサイズ、形状、方向を測定します。TENCOR 2835iは、トポロジ、紫外線(UV)、光学、電子ビームなどのさまざまなパラメータも測定できます。高度なウォーターシェッドセグメンテーションアルゴリズムを使用して、特殊なフィーチャーベースの分類マシンと組み合わせて、2835iはさまざまな欠陥を正確に識別、分類、測定できます。KLA/TENCOR 2835iは10nmより小さい欠陥を検出でき、1nm(イメージ次元の1%)の再現性の正確さを提供します。この高精度なツールは、半導体、照明、光学、太陽電池、バイオテクノロジー、MEMSなどの幅広い業界で信頼性の高いマスクとウェーハ検査を可能にします。KLA 2835iによる包括的な欠陥解析は、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、簡単で効率的です。それはすべての欠陥が点検され、文書化されることを保障する作り付けの手動欠陥のレビューの資産を備えています。結論として、TENCOR 2835iは、包括的な欠陥解析により、正確で自動化された欠陥検出と分類を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査モデルです。この装置は多種多様な産業用途に有効であり、フォトマスクや集積回路の製造および試験において貴重なツールとなっています。
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