中古 KLA / TENCOR 2835i EFEM #9230778 を販売中

KLA/TENCOR 2835i EFEMは、高解像度、高スループット、正確な欠陥検出を実現する高性能の自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、従来の顕微鏡と自動化された顕微鏡の両方において、高度な検査効率と前例のない歩留まりを提供します。最先端の光学、メカニクス、高度な画像処理アルゴリズムを組み合わせることで、信頼性の高い正確な欠陥識別が可能になり、同時にウェーハ処理スループットが従来の10倍以上に向上します。KLA 2835i EFEMの主な機能には、ハイスループット自動検査、20以上のウェーハを同時にスキャンする機能、目的の角度に合わせて4つの調整可能なコラム、および1時間あたり最大1200の高いデューティサイクルが含まれます。このユニットは、高倍率の消費者POVアプリケーション用のリファレンスイメージ、および最大10umの解像度に達することができる高速3D Point of View （POV）スキャンを設定することもできます。2835iはまた、ミクロンスケールの粒子および欠陥特性評価のための自動化と精度を提供するデュアルカメラマシンを備えています。E-ビーム欠陥管理（EDM）ツールを搭載しているため、エンジニアはウェーハを迅速に検査し、欠陥フィーチャーとデータを画像ファイルに直接抽出できます。また、KLAの特許取得済みのBackground Noise Reduction （BNR）機能も統合されているため、より正確な表面レベルと欠陥レベルが得られ、ウェーハの歩留まりが大幅に改善されます。TENCOR 2835i EFEMはすべての顧客の要求を満たし、超過するように設計されている強力で、革新的な点検モデルです。装置の優れた性能は、使いやすいソフトウェアインターフェイスと拡張可能なシステム構成により、ユーザーは特定のニーズに合わせてユニットをカスタマイズすることができます。高度な画像処理機能、直感的なユーザーインターフェイス、自動欠陥解析機能を備えた2835i EFEMは、マスクやウェーハ検査に最適なツールです。