中古 KLA / TENCOR 2830 #9260081 を販売中

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ID: 9260081
ヴィンテージ: 2010
System Module: EFEM Includes: YASKAWA XU-RCM9206 Robot Pre-aligner: XU-ACP330-B10, ERCM-NS01-B003 Controller 2010 vintage.
KLA/TENCOR 2830は、半導体ウェーハの特性を測定するために設計された強力なウェーハ試験および計測機器です。欠陥、ドーパント濃度、膜厚、粒界、抵抗、その他の微細構造特性を含むウェーハ表面の微細な特徴を検出および測定できる高分解能赤外線(IR)イメージングツールを備えています。システムの自動化ソフトウェアは、テスト結果を迅速かつ効率的に分析します。コンピュータ化されたウェーハハンドリングユニット、精度とスピードスキャン光学、高度な解析アルゴリズムを備えています。このマシンは、直径8インチまでのウェーハを収容することができます。KLA 2830は、ウェーハ表面の地形を正確に測定するためのイメージング技術を使用して、分析のための詳細な画像を作成します。このツールは、ウェーハのバンプ、ピット、またはその他の顕微鏡の特徴の高さとパターンを正確に測定します。また、地形の光反射率をIRスペクトルバンドに記録し、デバイスの性能に影響を与える可能性のある欠点を特定するための適切な範囲のデータを提供します。アセットの自動化ソフトウェアにより、ウェハテストデータの迅速な取得、レビュー、分析が可能になります。このソフトウェアを使用すると、スキャンエリア、スポットサイズ、サンプリングレートなどのカスタマイズされたパラメータを設定して、希望するレベルの詳細を取得できます。ソフトウェアはまた、ウェーハテストデータを保存し、管理するための便利な方法を提供します。TENCOR 2830は、ウェーハ表面の微細な特徴を画像化して識別することができるため、半導体ウェーハの高度な生産試験や電気測定に役立つ貴重なツールです。また、ウェーハ解析や欠陥検出にも費用対効果の高いソリューションです。その結果、このモデルは半導体産業の貴重な資源となっています。
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