中古 KLA / TENCOR 2800 #9192128 を販売中

KLA/TENCOR 2800は、欠陥検出およびパーティクルイメージング用の洗練されたマスクおよびウェハ検査装置です。高度な光学技術、照明技術、イメージング技術、ソフトウェア技術を組み合わせた自動化システムです。KLA 2800は、粒子径、カウント、サイズ、形状をナノメートル範囲まで正確に測定した2次元または3次元の画像を提供します。検査エリアを複数のサブエリアに分割し、欠陥を検査します。欠陥認識と分類のための画像処理アルゴリズム、バックライト付き高解像度カメラ、小さくて大きな欠陥を検出する傾斜照明機、正確なサンプル処理と正確な適応非均一補正を備えています。TENCOR 2800は非常に高解像度のイメージングが可能で、地形と欠陥のジオメトリの両方をキャプチャすることができます。また、高感度の光学ツールと自動化されたチップサンプル処理システムにより、ウェーハの両側の粒子を同時に検出することができます。パーティクルサイズと形状を測定してプロファイルし、形状パラメータをコンパイルして分析を進めます。また、可視光線の波長のわずかな範囲内で、欠陥の寸法を正確に測定できる高速欠陥サイジングアルゴリズムを搭載しています。処理された画像には色分けされたオーバーレイが表示され、欠陥の正確な位置と重大度が表示されます。2800は、簡単にギャングのグラフィックで非常に直感的な資産であることが証明されています。安定したプラットフォームを維持しながら、高速で正確なデータを提供するように設計されています。フルモデルオートメーションを備え、インラインプロセス制御システムと統合され、プロセスのパフォーマンスを最大化します。KLA/TENCOR 2800は、迅速な欠陥データ取得と解析を可能にし、効率と歩留まりを向上させます。その高解像度イメージングは、小さな欠陥や粒子のアーティファクトサイズを特定するための詳細な機能を提供します。その精度と再現性により、確実な測定が行われ、歩留まりを改善しコストを削減する意思決定が行われます。