中古 KLA / TENCOR 2800 #9117287 を販売中

KLA/TENCOR 2800は、マイクロチップ業界向けに設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。先進的な光学系と自動化された処理を組み合わせて、半導体ウェーハやマイクロチップ製造に使用されるマスクの集積回路の欠陥を検出します。このシステムにより、ウェーハおよびパッケージレベルでのマイクロチップ欠陥の非破壊解析が可能になり、高信頼性チップセットの製造に不可欠なツールとなります。KLA 2800の光学ユニットは4つのアライメントモジュールで構成され、2つは画像キャプチャユニットとして、2つはアライメントユニットとして機能します。4つのモジュールはすべて、光学機械アライメントマシンと連携して正確な測定を行います。光学システムは、ナノメートルからミリメートルまでの幅広いサイズの欠陥を検出することができ、ウェハダイの光学的に2次元イメージングを行うことができます。このツールには、レーザドップラー振動検出アセット、自動分光反射計、自動欠陥検出モデルなど、複数のコンポーネントからなる包括的なセンサパッケージも含まれています。レーザドップラー振動検出装置は、ウェーハの高精度画像を生成し、高解像度の欠陥検出用にダイします。自動分光反射計は、欠陥の存在を示すことができる反射率の変化をウェーハの表面を調べます。自動欠陥検出システムは、チップのダイの欠陥を検出するように設計されています。TENCOR 2800には、ユーザーがユニットのデータをカスタマイズしてアクセスできるいくつかのデータ管理およびソフトウェアコンポーネントが装備されています。ソフトウェアコンポーネントを使用すると、欠陥データの分析、欠陥の分類、サンプリングレートの設定、履歴の再構成情報へのアクセス、欠陥レポートの生成が可能になります。このマシンはまた、複数のストレージ場所とアクセス可能なデータ入力ポイントを備えた自動データストレージツールを備えています。また、2800は環境にやさしい資産であり、環境負荷の低減とエネルギー使用のためのいくつかの対策を提供しています。このモデルは、欧州のRoHS指令に準拠しており、ISO 14001環境管理機器の下で動作することができます。また、低消費電力LEDの使用や換気の低減、騒音汚染の低減など、省エネ対策も実施しています。全体として、KLA/TENCOR 2800は、チップ欠陥の正確で信頼性の高い分析を提供する高度なマスクおよびウェハ検査ユニットです。高度な光学系と自動処理、包括的なセンサパッケージ、堅牢なソフトウェア機能を組み合わせることで、高信頼性マイクロチップの製造において非常に貴重なツールとなります。